半导体陶瓷供应商为先进应用提供精密部件

在当今的半导体设备中,陶瓷材料得到了广泛应用,因此了解如何不断提高半导体制造的精度和稳定性,以及哪些材料能够在芯片生产的极端条件下保持性能极为重要。.

半导体应用的关键材料

绝缘环

Al₂O₃(氧化铝)

出色的绝缘性和机械强度。.

氮化铝晶片载体

AlN(氮化铝)

热导率高,热膨胀率低。.

SIC 陶瓷卡盘

碳化硅

出色的耐化学性和抗热震性。.

氮化硅陶瓷

Si₃N₄(氮化硅)

高强度和耐磨性。.

Zerodur 组件

Zerodur

超低热膨胀,适用于高精度元件。.

半导体材料加工精密工作台

材料 圆度 平整度 专注 并行性 粗糙度 加工精度
氧化铝(Al₂O₃) 0.001 毫米 0.001 毫米 (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.03 微米 0.001 毫米
氮化铝(AlN) 0.001 毫米 0.001 毫米 (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.03 微米 0.001 毫米
碳化硅(SiC) 0.001 毫米 0.001 毫米 (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.01 微米 0.001 毫米
氮化硅 (Si₃N₄) 0.001 毫米 0.001 毫米 (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.01 微米 0.001 毫米
Zerodur® 0.001 毫米 1/20λ (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.01 微米 0.001 毫米
沙帕尔 HI-M 0.001 毫米 0.001 毫米 (Φ300) 0.005 毫米 0.001 毫米 Ra0.04 微米 0.001 毫米

常见半导体元件

定制陶瓷解决方案

为每个工艺步骤量身定制 - 根据热、电气和机械要求优化材料和形状。.

超精密加工 - 多轴数控系统可实现微米级精度和光滑表面(Ra0.01 µm)。.

高纯度和洁净室兼容性 - 污染少、放气少,适用于关键的半导体环境。.

快速原型和定制解决方案 - 严格遵守流程的小批量或大批量生产。.

与可靠的半导体陶瓷供应商合作,利用耐用、高性能的陶瓷元件提升您的半导体制造工艺。.

不确定哪种陶瓷材料适合您的应用?请联系我们的专家寻求帮助