En los equipos semiconductores actuales, los materiales cerámicos se utilizan ampliamente, por lo que comprender cómo mejorar continuamente la precisión y estabilidad de la fabricación de semiconductores, así como qué materiales pueden mantener el rendimiento en las condiciones extremas de la producción de chips, es extremadamente importante.
Materiales clave para aplicaciones de semiconductores
Al₂O₃ (alúmina)
Excelente aislamiento y resistencia mecánica.
AlN (nitruro de aluminio)
Alta conductividad térmica y baja dilatación térmica.
SiC (carburo de silicio)
Excelente resistencia química y tolerancia al choque térmico.
Si₃N₄ (nitruro de silicio)
Gran solidez y resistencia al desgaste.
Zerodur
Expansión térmica ultrabaja para componentes de alta precisión.
Mesa de precisión para el mecanizado de materiales semiconductores
| Material | Redondez | Planitud | Concentricidad | Paralelismo | Rugosidad | Precisión de mecanizado |
| Alúmina (Al₂O₃) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,03 µm | 0,001 mm |
| Nitruro de aluminio (AlN) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,03 µm | 0,001 mm |
| Carburo de silicio (SiC) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Nitruro de silicio (Si₃N₄) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Zerodur | 0,001 mm | 1/20λ (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Shapal HI-M | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,04 µm | 0,001 mm |
Componentes semiconductores comunes
Soluciones cerámicas a medida
A la medida de cada fase del proceso: materiales y formas optimizados para los requisitos térmicos, eléctricos y mecánicos.
Mecanizado de ultraprecisión: CNC multieje para una precisión micrométrica y superficies lisas (Ra0,01 µm).
Alta pureza y compatibilidad con salas limpias: baja contaminación y desgasificación para entornos críticos de semiconductores.
Creación rápida de prototipos y soluciones personalizadas - Producción de lotes pequeños o grandes volúmenes con un estricto cumplimiento de los procesos.
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