半導体セラミックスサプライヤー、先端アプリケーション向け精密部品を提供

今日の半導体製造装置では、セラミック材料が広く使用されているため、半導体製造の精度と安定性を継続的に向上させる方法や、チップ製造の過酷な条件下でも性能を維持できる材料を理解することは非常に重要です。.

半導体用途の主要材料

半導体材料加工精密テーブル

素材	丸み	平坦性	集中力	パラレリズム	粗さ	加工精度
アルミナ（Al₂O₃）	0.001 mm	0.001 mm（Φ300）	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.03 µm	0.001 mm
窒化アルミニウム（AlN）	0.001 mm	0.001 mm（Φ300）	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.03 µm	0.001 mm
炭化ケイ素（SiC）	0.001 mm	0.001 mm（Φ300）	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.01 µm	0.001 mm
窒化ケイ素 (Si₃N₄)	0.001 mm	0.001 mm（Φ300）	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.01 µm	0.001 mm
Zerodur	0.001 mm	1/20λ (Φ300)	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.01 µm	0.001 mm
シャパルHI-M	0.001 mm	0.001 mm（Φ300）	0.005 mm	0.001 mm	Ra0.04 µm	0.001 mm