Soporte de obleas de nitruro de aluminio
El portador de obleas de nitruro de aluminio es un portador utilizado para transportar obleas en los pasos del equipo semiconductor (como deposición, grabado o tratamiento térmico). Puede fijar la oblea mediante tecnología de adsorción electrostática para evitar que la oblea se deforme. Los más comunes son el tamaño general del soporte para obleas de AlN (nitruro de aluminio) de 12 pulgadas y 300 mm y el AIN personalizado.