Mandril de vacío de cerámica porosa para semiconductores
Los mandriles de cerámica porosa son un tipo de mandril de vacío que utiliza canales interconectados micrométricos/submicrométricos para lograr una adsorción uniforme de la presión negativa. En comparación con los mandriles metálicos ranurados o perforados tradicionales, la cerámica porosa puede proporcionar una adsorción uniforme en toda la superficie sin depresiones localizadas, lo que reduce en gran medida la deformación y la tensión localizada causadas por las obleas delgadas que son "aspiradas dentro".