In den heutigen Halbleiterausrüstungen sind keramische Werkstoffe weit verbreitet. Daher ist es äußerst wichtig zu verstehen, wie die Präzision und Stabilität der Halbleiterherstellung kontinuierlich verbessert werden kann und welche Werkstoffe auch unter den extremen Bedingungen der Chip-Produktion leistungsfähig bleiben.
Schlüsselmaterialien für Halbleiteranwendungen
Al₂O₃ (Tonerde)
Hervorragende Isolierung und mechanische Festigkeit.
AlN (Aluminiumnitrid)
Hohe Wärmeleitfähigkeit und geringe Wärmeausdehnung.
SiC (Siliziumkarbid)
Hervorragende chemische Beständigkeit und Temperaturwechselbeständigkeit.
Si₃N₄ (Siliziumnitrid)
Hohe Festigkeit und Verschleißfestigkeit.
Zerodur
Ultra-niedrige thermische Ausdehnung für hochpräzise Komponenten.
Halbleiter-Materialbearbeitungs-Präzisionstisch
| Material | Rundheit | Ebenheit | Konzentrationsfähigkeit | Parallelität | Rauhigkeit | Bearbeitungsgenauigkeit |
| Tonerde (Al₂O₃) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,03 µm | 0,001 mm |
| Aluminiumnitrid (AlN) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,03 µm | 0,001 mm |
| Siliziumkarbid (SiC) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Siliziumnitrid (Si₃N₄) | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Zerodur®. | 0,001 mm | 1/20λ (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,01 µm | 0,001 mm |
| Shapal HI-M | 0,001 mm | 0,001 mm (Φ300) | 0,005 mm | 0,001 mm | Ra0,04 µm | 0,001 mm |
Gemeinsame Halbleiterkomponenten
Maßgeschneiderte Keramik-Lösungen
Maßgeschneidert für jeden Prozessschritt - Materialien und Formen, die für thermische, elektrische und mechanische Anforderungen optimiert sind.
Ultrapräzisionsbearbeitung - Mehrachsen-CNC für Genauigkeit im Mikrometerbereich und glatte Oberflächen (Ra0,01 µm).
Hohe Reinheit und Reinraumkompatibilität - Geringe Kontamination und Ausgasung für kritische Halbleiterumgebungen.
Rapid Prototyping & kundenspezifische Lösungen - Kleinserien- oder Großserienproduktion mit strenger Prozesseinhaltung.
Gehen Sie eine Partnerschaft mit einem zuverlässigen Anbieter von Halbleiterkeramik ein, um Ihren Halbleiterherstellungsprozess mit langlebigen, leistungsstarken Keramikkomponenten zu verbessern.
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