Zerodur 玻璃在光刻技术领域的作用

Zerodur 长期以来，零膨胀玻璃陶瓷一直是工业市场公认的优秀材料，其应用领域十分广泛。在光刻领域，它被广泛应用于关键部件，如网罩空白基板、光刻平台基座以及步进校准和定位系统中的反射镜和框架。它的热性能可根据特定温度（±20°C）进行定制。单击此处查看 Zerodur 属性)，热变形几乎可以忽略不计，符合现代光刻工艺的严格要求。

材料优势

超低热膨胀系数（0±0.02 × 10-⁶ K-¹）
极高的尺寸稳定性，能够在 1 纳米水平上长期保持一致性
可进行高精度加工和抛光，平面度精度可达 1/20λ
优异的化学性能，对常见蚀刻和清洗化学品有很强的耐受性

微光刻应用

视网膜空白基板
超紫外线光刻机基底
Zerodur 支承框架
干涉镜、平面镜、双棱镜等。
校准系统组件

总结

Zerodur 因其超低的 CTE 和高尺寸稳定性而成为微光刻领域的关键材料。Jundro Ceramics 是一家专门从事 Zerodur 加工的高品质制造商。它在加工基板、反射镜、测量镜等方面拥有丰富的经验，完全可以满足您的要求。请随时联系我们的专家。我们很乐意为您提供服务。