碳化硅光学镜

重量轻、热膨胀率低、抗热变形能力强等。

碳化硅在光学应用中，即使温度发生剧烈变化，SiC 光学镜面也能保持形状和光学精度。高导热性和低 CTE 还能使 SiC 镜面快速吸收热量，减少热应力导致的镜面变形。

粗糙度 Ra0.002um

碳化硅光学镜的特性

组件	单位	要求
SiC	%	≥83
Si	%	≤16

财产	单位	价值
密度	克/立方厘米	≥3.02
孔隙率	%	≤0.3
挠曲强度	兆帕	≥250 (20℃)
弹性模量	GPa	≥300 (20℃)
弹性模量	GPa	≥140 (25℃)
热膨胀系数	(25-1200℃) ×10-⁶℃-¹	≤4.5±0.5
维氏硬度	GPa	≥20

注：此值仅供参考，不同批次之间可能略有不同。

应用

天文学和空间光学
碳化硅光学镜具有极低的热膨胀系数和热稳定性，在温度变化时几乎不会变形。典型应用包括赫歇尔太空望远镜它不是由玻璃制成，而是由烧结碳化硅制成。

高速激光扫描和处理系统
高速激光扫描系统与传统材料相比，碳化硅具有明显的优势。低密度和高比刚度使碳化硅能够生产低惯性、快速响应的反射镜

研究设施
在极紫外光（EUV）光刻机（ASML）中使用碳化硅作为多层反射基板（要求超光滑表面），可有效减少光刻过程中的热漂移，提高叠加精度

关于产品制造

Jundro 是一家高品质技术陶瓷加工制造商，专门利用专业技术和先进设备提供优质服务。我们提供各种高精度陶瓷零件的定制加工，包括不规则形状、圆形和曲面，并具备五轴精密加工能力。

不规则结构零件：加工精度为 0.01 毫米
管材和棒材：圆柱度 0.001 毫米，尺寸精度 0.001 毫米
平面：结构件平面精度达 0.001 毫米，光学产品平面精度达 1/20λ
微孔结构：最小直径 0.1 毫米，精度 0.01 毫米
粗糙度：结构件的粗糙度为 Ra0.01um，光学产品的粗糙度为 Ra0.002um

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