熔融石英玻璃
热膨胀系数极低(约 0.5 × 10-⁶ /°C)
| 材料 | 熔融石英玻璃 |
| 密度 | 2.20 克/立方厘米 |
| 粗糙度 | Ra0.002μm |
| 最大尺寸 | ф500*50mm |
导言
熔融石英 玻璃因其优异的物理和化学特性,被广泛应用于半导体、光学和科学研究等高科技领域。它由高纯度二氧化硅 SiO₂(>99.9%)的无定形材料组成,不含其他氧化物,避免了杂质。同时,熔融石英具有很强的耐酸、耐碱和耐大多数腐蚀性物质的能力,适用于极端的化学环境。下面将详细介绍其特性和应用。
熔融石英玻璃的优势
高纯度 >99.9% SiO₂
✅ 极低的热膨胀系数(0.5 × 10-⁶ /°C)和极强的抗热震性
✅ 高电阻率
✅ 抗化学性强
✅ 从深紫外到红外(175 纳米 ~ 2500 纳米)的高透光率,适合光学应用
✅ 机械强度高,表面可精密抛光
应用
✅ 光刻掩膜、光刻机镜头、晶片载体、热处理舟、空腔窗口
✅ 紫外线透镜、激光窗口、反射基板
✅ 红外线/紫外线窗、高速飞机窗
✅ 石英腔、激光腔透镜
✅ 光谱仪和色谱仪的光路元件
高温气体传感器窗口
✅ 微结构设备、光学陷阱结构、真空腔窗口
✅ 干涉仪、陀螺仪基板
熔融石英玻璃的特性
材料特性
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 密度 | 克/立方厘米 | 2.2 |
| 弯曲强度 | 兆帕 | 80 |
| 抗压强度 | 兆帕 | 1100 |
| 弹性模量 | GPa | 220 |
| 泊松比 | - | 0.17 |
| 杨氏模量 | GPa | 72 |
热性能
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 导热性 | W/m-K | 1.38 |
| 熔点 | °C | 1730 |
| 最高工作温度 | °C | 1200 |
| 线性膨胀系数 | 10-⁶/K | 0.55 |
电气性能
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 介电常数 | 1 兆赫 | 3.75 |
| 击穿电压 | 伏/厘米 | 400 |
| 介质损耗 | 1 兆赫 | < 0.0004 |
| 电阻率 | Ω-cm | > 10¹⁸ |
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常见问题
NEXCERA 是一种日本制造的超低膨胀陶瓷,主要用于以下用途 精密夹具、计量基座和机械稳定性. .Zerodur 和 ULE 是玻璃陶瓷,经过优化可用于 光学稳定性和大型光学元件.
NEXCERA最适合机械刚性、尺寸稳定性和精密工具。.
Zerodur适用于高精度光学镜和大型光学组件。.
ULE适用于轻型光学元件和干涉测量。.
NEXCERA 重点关注 机械精度, 而 Zerodur/ULE 则更侧重于 光学均匀性.
不,NEXCERA 是 非磁性 和 绝缘.
它适用于需要稳定、不导电和非磁性材料的环境,包括半导体设备、计量系统和精密自动化。.
NEXCERA 的典型 CTE 值为
0 ± 0.02 × 10-⁶ /K (20-40°C)
这种极低的 CTE 使 NEXCERA 非常适合需要满足以下条件的应用 在温度变化时具有高度的尺寸稳定性.
不,NEXCERA 是 不 堇青石.
NEXCERA 是一个 高纯度超低膨胀陶瓷, 该系统专为精密应用而设计。.
堇青石是一种 成本更低的镁铝硅陶瓷 主要用于隔热部件、窑具和蜂窝基板。.
它们属于不同的材料系列,用途也完全不同。.