熔融石英玻璃

热膨胀系数极低(约 0.5 × 10-⁶ /°C)

熔融石英玻璃
材料熔融石英玻璃
密度2.20 克/立方厘米
粗糙度Ra0.002μm
最大尺寸ф500*50mm

导言

熔融石英 玻璃因其优异的物理和化学特性,被广泛应用于半导体、光学和科学研究等高科技领域。它由高纯度二氧化硅 SiO₂(>99.9%)的无定形材料组成,不含其他氧化物,避免了杂质。同时,熔融石英具有很强的耐酸、耐碱和耐大多数腐蚀性物质的能力,适用于极端的化学环境。下面将详细介绍其特性和应用。

熔融石英玻璃的优势

高纯度 >99.9% SiO₂

✅ 极低的热膨胀系数(0.5 × 10-⁶ /°C)和极强的抗热震性

✅ 高电阻率

✅ 抗化学性强

✅ 从深紫外到红外(175 纳米 ~ 2500 纳米)的高透光率,适合光学应用

✅ 机械强度高,表面可精密抛光

应用

✅ 光刻掩膜、光刻机镜头、晶片载体、热处理舟、空腔窗口

✅ 紫外线透镜、激光窗口、反射基板

✅ 红外线/紫外线窗、高速飞机窗

✅ 石英腔、激光腔透镜

✅ 光谱仪和色谱仪的光路元件

高温气体传感器窗口

✅ 微结构设备、光学陷阱结构、真空腔窗口

✅ 干涉仪、陀螺仪基板

熔融石英玻璃的特性

材料特性

财产 单位 熔融石英玻璃
密度 克/立方厘米 2.2
弯曲强度 兆帕 80
抗压强度 兆帕 1100
弹性模量 GPa 220
泊松比 - 0.17
杨氏模量 GPa 72

热性能

财产 单位 熔融石英玻璃
导热性 W/m-K 1.38
熔点 °C 1730
最高工作温度 °C 1200
线性膨胀系数 10-⁶/K 0.55

电气性能

财产 单位 熔融石英玻璃
介电常数 1 兆赫 3.75
击穿电压 伏/厘米 400
介质损耗 1 兆赫 < 0.0004
电阻率 Ω-cm > 10¹⁸

熔融石英玻璃加工

熔融石英玻璃制造商

高纯度熔融石英玻璃制造商和精密加工专家
我们是高纯度熔融石英玻璃的专业制造商,提供从材料供应到精密数控加工的一体化服务。我们拥有先进的三轴、四轴和五轴加工能力,可以生产超小公差(±0.001 毫米)、光学级抛光(高达 1/20λ)和复杂几何形状的定制部件。

 

我们的熔融石英部件广泛应用于半导体、光学、航空航天、分析仪器和科学研究领域。在 ISO 9001 和 ISO 14001 认证的支持下,我们可确保稳定的质量、快速的交货以及为您的关键应用量身定制的技术支持。

 

常见问题

熔融石英和石英玻璃一样吗?

不.
熔融石英是指无定形的 SiO₂。石英是晶体。.
它们在高温和压力下的表现不同。.

什么是 JGS1 熔融石英?

什么是 JGS1 熔融石英?

JGS1 熔融石英是一种紫外级光学石英材料,具有高纯度、优异的紫外线透过率(185-2500 nm)和超强的热稳定性。它是中国 GB/T 31447.1 光学熔融石英标准规定的三个等级(JGS1、JGS2、JGS3)之一。

  • JGS1: 紫外线级,最适用于深紫外线和精密光学仪器。

  • JGS2: 可见-红外标准光学级。

  • JGS3: 红外级,是热敏或红外应用的理想之选。

点击查看 JGS1 熔融石英完整指南

熔融石英玻璃在半导体器件中的应用

平版印刷和直接书写、曝光窗、掩膜支架
光刻胶涂层和显影、石英涂层盖板
湿法工艺设备、晶片运输车和运输船
干蚀刻设备、石英室衬垫、电极盖
薄膜沉积(CVD、PECVD、ALD)、腔体衬垫
有关更多半导体应用,请查阅本文 (3 分钟:熔融石英玻璃在半导体设备中的全面应用)

我们的熔融石英零件加工服务
  • 高精度能力
  • 复杂形状:公差达 ±0.01 毫米
  • 圆柱/轴部件:公差达 ±0.001 毫米
  • 表面平整度:高达 0.001 毫米
  • 光学平整度:高达 1/20λ(取决于波长)
  • 微孔:直径小至 0.1 毫米(误差 ±0.01 毫米)
  • 表面粗糙度:结构部件 Ra 0.01 μm,光学部件 Ra 0.002 μm
  • 表面处理:抛光、光学涂层
我们的熔融石英零件加工服务
  • 高精度能力
  • 复杂形状:公差达 ±0.01 毫米
  • 圆柱/轴部件:公差达 ±0.001 毫米
  • 表面平整度:高达 0.001 毫米
  • 光学平整度:高达 1/20λ(取决于波长)
  • 微孔:直径小至 0.1 毫米(误差 ±0.01 毫米)
  • 表面粗糙度:结构部件 Ra 0.01 μm,光学部件 Ra 0.002 μm
  • 表面处理:抛光、光学涂层
熔融石英是否难以加工?

是的。.
这需要金刚石工具、可控进给和经验。.
加工不良会造成微裂纹,从而缩短使用寿命。.