Zerodur 基质

Zerodur 衬底是一种玻璃陶瓷材料，具有超低的热膨胀系数和出色的机械稳定性。它可用于半导体晶粒键合、光学原镜、测量仪器等。其核心特性是接近零的热膨胀系数（CTE）（在 0-50°C 范围内，CTE≈0±0.05×10-⁶/K） (点击查看 zerodur 的详细信息)

Zerodur 基底面特性

极端温度稳定性
(在极端的工业环境中）不会因热胀冷缩而导致结构变形和失效
举例说明：卫星光学系统在低地球轨道上经历-150°C 到 +120°C 的温度循环，而 Zerodur 基底在位置上保持稳定

卓越的尺寸稳定性
可长期保持亚微米级的尺寸精度，特别适用于光学系统和天文设备
案例：欧洲的超大型望远镜镜面基板使用了能控制重力和温度变化下的变形的热罗杜尔材料

反环境干扰
良好的耐腐蚀性和抗辐射性
实例：用于支持核聚变实验装置中高能激光器的光学元件

超高光学性能
zerodur 基质具有出色的透光率、低气泡和杂质以及高均匀性
实例：用于激光干涉仪的反射基板，可减少光路失真

超低 CTE 系数
具有各种不同的热膨胀系数等级，可满足各种项目的需求
例如模具粘接 Zerodur 基底面，用于芯片安装

应用领域

✅ 天文学和空间光学（如詹姆斯-韦伯望远镜的辅助镜、卫星光学有效载荷）

✅ 半导体和微电子制造（光刻掩模阶段、封装、芯片粘合基板）

量子和测量（超导量子位基底、原子钟谐振腔基底）

✅ 科研设备（激光反射基板、测量仪器导向基板）

核工业应用（等离子系统光学窗口、火星探测器基板）

Zerodur 基质制造商

我们支持各种规格的 Zerodur 基材，适用于多种行业和设备。利用我们的专业加工经验和设备，我们还可以根据您的项目需求定制 zerodur 材料。

不规则结构零件：加工精度为 0.01 毫米
管材和棒材：圆柱度 0.001 毫米，尺寸精度 0.001 毫米
平面：结构件平面精度达 0.001 毫米，光学产品平面精度达 1/20λ
微孔结构：最小直径 0.1 毫米，精度 0.01 毫米
粗糙度：结构件的粗糙度为 Ra0.01um，光学产品的粗糙度为 Ra0.002um