氮化硅陶瓷

氮化硅被称为世界上最坚硬的物质之一。它以出色的机械强度、热稳定性和低密度而闻名。它是一种在烧结过程中不会收缩的无机陶瓷材料。它能在极端环境中保持可靠性,被广泛应用于半导体、汽车和工业机械等领域。.

氮化硅陶瓷

氮化硅的优势

  • 即使在高温条件下也具有很高的强度和刚度

  • 抗热震性能优于氧化铝和氧化锆

  • 优异的耐磨性和耐腐蚀性

  • 重量轻,断裂韧性高

  • 具有良好导热性能的电绝缘材料

  • 在高速和高负荷条件下性能卓越

氮化硅应用

  • 半导体行业: 晶圆处理组件、加热器底座、绝缘体

  • 航空航天与国防: 轴承、涡轮机部件、结构件

  • 汽车 发动机部件、涡轮增压器转子、辉光塞

  • 工业设备: 切削工具、泵密封件、精密轴承

  • 医疗设备: 手术工具和高温部件

材料特性

机械性能 单位 氮化硅
密度 克/立方厘米 3.2
硬度 GPa 15
挠曲强度 兆帕 1000
抗压强度 兆帕 3000
弹性模量 GPa 320
断裂韧性 MPa-m¹ᐟ² 8
泊松比 - 0.26
杨氏模量 GPa 320
热性能 单位 氮化硅
导热性 W/m-K 25
熔点 °C 1900
比热 J/g-K 0.71
热膨胀系数 ×10-⁶/K 3.2
最高工作温度 °C 1400
财产 单位 氮化硅
介电常数 1 兆赫 8
介电强度 V/μm >10
介质损耗 1 兆赫 0.001
电阻率 Ω-cm 10¹⁴

氮化硅陶瓷加工

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