Zerodur 晶圆玻璃步进器

晶圆步进机 是现代半导体制造领域的核心设备。这些价值数千万美元的仪器可以在硅晶片上投影出纳米级的电路图案。它们的主要工作流程包括光源发射、掩膜图形成像、物镜聚焦以及晶圆平台（X-Y 平台）的精确对准和步进重复运动。热膨胀效应这一看似微弱的物理现象已成为制约光刻精度的基本挑战。当设备部件因温度变化而改变尺寸时，将导致对准错误和晶片报废。 Zerodur 玻璃是由德国肖特公司开发的一种高纯度非晶陶瓷玻璃，因其近乎零热膨胀的特性，已成为半导体光刻工艺的核心材料。