高性能陶瓷在 300 毫米水平晶片加工设备中的应用
在当今的晶圆批量加工设备中,以 centrotherm 的 c.HORICOO300 为例。该设备被日本瑞萨电子公司用于其位于山梨县的 300mm 功率半导体生产线,主要用于氧化和退火工艺。该系统采用 8 管集群设计,配备全自动晶片和晶片舟。
在当今的晶圆批量加工设备中,以 centrotherm 的 c.HORICOO300 为例。该设备被日本瑞萨电子公司用于其位于山梨县的 300mm 功率半导体生产线,主要用于氧化和退火工艺。该系统采用 8 管集群设计,配备全自动晶片和晶片舟。
导言 在当今的工业环境中,电绝缘陶瓷材料通常用于保护各种精密仪器,并广泛应用于半导体和航空航天等工程领域。除了高电气绝缘性,陶瓷材料还具有高导热性和高机械强度等优异性能。下面我将列举 5 种
在现代精密光学领域,选择低热膨胀材料尤为重要,例如大型光学望远镜的镜片和激光陀螺仪的光学元件。Zerodur 或 ULE 玻璃都以极低的热膨胀系数而闻名。那么,如何选择使用哪种材料作为
定义 可机械加工的玻璃陶瓷是一种特殊的多晶材料。与我们熟悉的粉末烧结陶瓷不同,它是通过熔化和淬火形成玻璃的。它的可切削性源于微观结构中的晶体允许裂纹偏转,不会因局部断裂而导致失效,因此它可以
在当前的半导体器件中,散热和绝缘一直是不可避免的问题。事实上,早在上世纪五六十年代,氧化铍就已经被用于半导体器件基板、射频器件等。随着技术的进步,2000 年以后,氮化铝开始逐渐取代氧化铍,成为半导体设备基板、射频设备等的首选材料。
康宁生产的超低膨胀 ULE 玻璃的 CTE 系数低于肖特的 Zerodur,而且无需结晶。此外,它还能很好地适应温度变化,避免因热胀冷缩而产生变形或应力,确保在高精度应用(激光谐振腔、天文望远镜、原子钟谐振)中的稳定性。
为了提供最佳体验,我们和我们的合作伙伴使用 cookies 等技术来存储和/或访问设备信息。同意使用这些技术将允许我们和我们的合作伙伴在本网站上处理浏览行为或唯一 ID 等个人数据,并显示(非)个性化广告。不同意或撤销同意可能会对某些功能产生不利影响。
单击下方同意上述内容或进行细化选择。 您的选择只适用于本网站。 您可以随时更改设置,包括撤销同意,方法是使用 Cookie 政策上的切换按钮,或点击屏幕底部的管理同意按钮。