3 分钟：熔融石英玻璃在半导体设备中的全面应用

在半导体制造领域，精度、纯度和耐用性决定了一切。在支持这一行业的众多先进材料中，包括 熔融石英玻璃（熔融石英） 其独特的组合 高纯度、光学透明性、热稳定性和抗等离子体性.这些特性使其几乎在晶片加工的每个阶段都不可或缺。

让我们快速浏览一下石英玻璃在半导体设备中安静工作的地方

平版印刷和直接书写

曝光窗口
投影镜头支架
光学板和观察窗
石英面罩支架

光阻涂布和显影

石英涂层盖
紫外线固化窗口
光学视口

湿法工艺设备

石英水箱和浴缸
晶片运输车和运输船
加热器保护管
溢流槽和冲洗槽

干蚀刻设备

石英炉腔衬里
等离子视窗
淋浴喷头和绝缘板
电极盖

热处理系统

石英工艺管
晶片舟和支架
隔热罩和支架

薄膜沉积（CVD、PECVD、ALD）

炉腔内衬
视口
挡板和防护罩

CMP（化学机械抛光）工具

石英清洁电池
光学检测窗

晶圆键合设备

石英加热级
真空室窗口

离子注入系统

石英防护罩
光学检测窗

结论

从光刻光学元件到热熔炉和等离子室，熔融石英玻璃是半导体精密度和纯度的无声助推器之一。熔融石英玻璃在极端环境下的可靠性使其成为设备制造商追求更高产能和更清洁工艺的核心材料。(点击此处了解有关熔融石英玻璃特性的详细信息.)

关于我们 - 熔融石英元件制造商

在 Jundro 陶瓷公司 我们专门从事半导体、光学和真空应用领域熔融石英玻璃元件的精密加工。
凭借多年的高纯度材料加工经验，我们可以提供 定制石英部件 所有这些都是为满足半导体设备的极端要求而制造的。