熔融石英玻璃
热膨胀系数极低(约 0.5 × 10-⁶ /°C)
| 材料 | 熔融石英玻璃 |
| 密度 | 2.20 克/立方厘米 |
| 粗糙度 | Ra0.002μm |
| 最大尺寸 | ф500*50mm |
导言
熔融石英 玻璃因其优异的物理和化学特性,被广泛应用于半导体、光学和科学研究等高科技领域。它由高纯度二氧化硅 SiO₂(>99.9%)的无定形材料组成,不含其他氧化物,避免了杂质。同时,熔融石英具有很强的耐酸、耐碱和耐大多数腐蚀性物质的能力,适用于极端的化学环境。下面将详细介绍其特性和应用。
熔融石英玻璃的优势
高纯度 >99.9% SiO₂
✅ 极低的热膨胀系数(0.5 × 10-⁶ /°C)和极强的抗热震性
✅ 高电阻率
✅ 抗化学性强
✅ 从深紫外到红外(175 纳米 ~ 2500 纳米)的高透光率,适合光学应用
✅ 机械强度高,表面可精密抛光
应用
✅ 光刻掩膜、光刻机镜头、晶片载体、热处理舟、空腔窗口
✅ 紫外线透镜、激光窗口、反射基板
✅ 红外线/紫外线窗、高速飞机窗
✅ 石英腔、激光腔透镜
✅ 光谱仪和色谱仪的光路元件
高温气体传感器窗口
✅ 微结构设备、光学陷阱结构、真空腔窗口
✅ 干涉仪、陀螺仪基板
熔融石英玻璃的特性
材料特性
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 密度 | 克/立方厘米 | 2.2 |
| 弯曲强度 | 兆帕 | 80 |
| 抗压强度 | 兆帕 | 1100 |
| 弹性模量 | GPa | 220 |
| 泊松比 | - | 0.17 |
| 杨氏模量 | GPa | 72 |
热性能
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 导热性 | W/m-K | 1.38 |
| 熔点 | °C | 1730 |
| 最高工作温度 | °C | 1200 |
| 线性膨胀系数 | 10-⁶/K | 0.55 |
电气性能
| 财产 | 单位 | 熔融石英玻璃 |
| 介电常数 | 1 兆赫 | 3.75 |
| 击穿电压 | 伏/厘米 | 400 |
| 介质损耗 | 1 兆赫 | < 0.0004 |
| 电阻率 | Ω-cm | > 10¹⁸ |
熔融石英玻璃加工
熔融石英玻璃制造商
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我们是高纯度熔融石英玻璃的专业制造商,提供从材料供应到精密数控加工的一体化服务。我们拥有先进的三轴、四轴和五轴加工能力,可以生产超小公差(±0.001 毫米)、光学级抛光(高达 1/20λ)和复杂几何形状的定制部件。
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常见问题
不.
熔融石英是指无定形的 SiO₂。石英是晶体。.
它们在高温和压力下的表现不同。.
什么是 JGS1 熔融石英?
JGS1 熔融石英是一种紫外级光学石英材料,具有高纯度、优异的紫外线透过率(185-2500 nm)和超强的热稳定性。它是中国 GB/T 31447.1 光学熔融石英标准规定的三个等级(JGS1、JGS2、JGS3)之一。
JGS1: 紫外线级,最适用于深紫外线和精密光学仪器。
JGS2: 可见-红外标准光学级。
JGS3: 红外级,是热敏或红外应用的理想之选。
平版印刷和直接书写、曝光窗、掩膜支架
光刻胶涂层和显影、石英涂层盖板
湿法工艺设备、晶片运输车和运输船
干蚀刻设备、石英室衬垫、电极盖
薄膜沉积(CVD、PECVD、ALD)、腔体衬垫
有关更多半导体应用,请查阅本文 (3 分钟:熔融石英玻璃在半导体设备中的全面应用)
- 高精度能力
- 复杂形状:公差达 ±0.01 毫米
- 圆柱/轴部件:公差达 ±0.001 毫米
- 表面平整度:高达 0.001 毫米
- 光学平整度:高达 1/20λ(取决于波长)
- 微孔:直径小至 0.1 毫米(误差 ±0.01 毫米)
- 表面粗糙度:结构部件 Ra 0.01 μm,光学部件 Ra 0.002 μm
- 表面处理:抛光、光学涂层
- 高精度能力
- 复杂形状:公差达 ±0.01 毫米
- 圆柱/轴部件:公差达 ±0.001 毫米
- 表面平整度:高达 0.001 毫米
- 光学平整度:高达 1/20λ(取决于波长)
- 微孔:直径小至 0.1 毫米(误差 ±0.01 毫米)
- 表面粗糙度:结构部件 Ra 0.01 μm,光学部件 Ra 0.002 μm
- 表面处理:抛光、光学涂层
是的。.
这需要金刚石工具、可控进给和经验。.
加工不良会造成微裂纹,从而缩短使用寿命。.