氧化铝陶瓷末端执行器/搬运臂

氧化铝陶瓷末端执行器/搬运臂用于搬运半导体晶片

氧化铝陶瓷末端执行器/搬运臂是由高纯度氧化铝制成的精密部件。它具有超高的弯曲强度和耐高温性。它能有效减少污染，在晶片处理过程中起着关键作用。

半导体陶瓷部件

数据表

材料	99.8% 氧化铝
密度	3.93（克/厘米³）
维氏硬度	18GPa
挠曲强度	314MPa
抗压强度	2556（GPa）
杨氏模量	358（Gpa）
导热性	34-39W/m-K
最高工作温度	1765°C
介电常数	9.85（1 MHz）

优势

✅ 耐高温

✅ 良好的电气绝缘性

✅ 光滑的表面可减少颗粒污染

高耐腐蚀性

高机械强度

应用

✅ 真空吸附 EFEM 系统和分拣机中的晶片

蚀刻和化学气相沉积 (CVD) 设备

✅ 光刻前/后工艺处理

✅ 半导体晶片处理（200 毫米/300 毫米晶片）

✅ 激光光学组件

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