碳化硅光学镜

重量轻、热膨胀率低、抗热变形能力强等。

碳化硅 在光学应用中,即使温度发生剧烈变化,SiC 光学镜面也能保持形状和光学精度。高导热性和低 CTE 还能使 SiC 镜面快速吸收热量,减少热应力导致的镜面变形。

粗糙度 Ra0.002um

碳化硅光镜

碳化硅光学镜的特性

组件单位要求
SiC%≥83
Si%≤16
   
财产单位价值
密度克/立方厘米≥3.02
孔隙率%≤0.3
挠曲强度兆帕≥250 (20℃)
弹性模量GPa≥300 (20℃)
≥140 (25℃)
热膨胀系数(25-1200℃) ×10-⁶℃-¹≤4.5±0.5
维氏硬度GPa≥20

注:此值仅供参考,不同批次之间可能略有不同。

 

应用

天文学和空间光学
碳化硅光学镜具有极低的热膨胀系数和热稳定性,在温度变化时几乎不会变形。典型应用包括 赫歇尔太空望远镜它不是由玻璃制成,而是由烧结碳化硅制成。

高速激光扫描和处理系统
高速激光扫描系统 与传统材料相比,碳化硅具有明显的优势。低密度和高比刚度使碳化硅能够生产低惯性、快速响应的反射镜

研究设施
在极紫外光(EUV)光刻机(ASML)中使用碳化硅作为多层反射基板(要求超光滑表面),可有效减少光刻过程中的热漂移,提高叠加精度

关于产品制造

Jundro 是一家高品质技术陶瓷加工制造商,专门利用专业技术和先进设备提供优质服务。我们提供各种高精度陶瓷零件的定制加工,包括不规则形状、圆形和曲面,并具备五轴精密加工能力。

  • 不规则结构零件:加工精度为 0.01 毫米
  • 管材和棒材:圆柱度 0.001 毫米,尺寸精度 0.001 毫米
  • 平面:结构件平面精度达 0.001 毫米,光学产品平面精度达 1/20λ
  • 微孔结构:最小直径 0.1 毫米,精度 0.01 毫米
  • 粗糙度:结构件的粗糙度为 Ra0.01um,光学产品的粗糙度为 Ra0.002um

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