半导体 SiC 静电卡盘

用于在蚀刻、沉积或 CMP 过程中固定晶片

半导体碳化硅静电吸盘 (ESC) 是蚀刻、沉积或 CMP 中常用的组件。它利用库仑力或约翰逊-拉贝克效应牢牢固定晶片，无需额外的机械夹具。同时，由碳化硅制成的 ESC 在腐蚀和等离子环境中具有超高的耐用性。

SiC 电子调速器外壳

✅ 超高导热率可提高蚀刻或沉积的工艺精度

✅ 对腐蚀性气体有很强的抵抗力

✅ 出色的高温稳定性，能够在高温下保持结构稳定

✅ 高硬度和耐磨性，长期使用无磨损或颗粒污染

✅ 碳化硅静电吸盘具有高电阻率，符合静电吸附特性

✅ 等离子蚀刻

✅ 离子注入

✅ 化学气相沉积/物理气相沉积

✅ 光刻技术

我们是一家专业的超硬材料制造商，为半导体行业提供多样化的定制组件，如（真空吸盘、晶圆支撑平台、末端执行器、晶圆搬运机械臂及其他陶瓷组件）。我们拥有专业的五轴加工设备和丰富的经验，可以加工异形、圆形和曲面的封装元件。所有公差均可根据实际尺寸和形状进行改进，以完美匹配您的设备和特定需求。

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