3分でわかる半導体製造装置における石英ガラスの完全な応用例

半導体製造においては、精度、純度、耐久性がすべてである。この産業を支える数多くの先端材料の中でも 石英ガラス（石英ガラス） のユニークな組み合わせが際立っている。 高純度、光学的透明性、熱安定性、耐プラズマ性.これらの特性により、ウェーハプロセスのほぼすべての段階で不可欠なものとなっている。

それでは、石英ガラスが半導体装置の内部でどのような役割を果たしているのか、簡単に見てみよう。