窒化ケイ素は世界で最も硬い物質の一つとして知られている。優れた機械的強度、熱安定性、低密度で有名です。焼結時に収縮しない無機セラミック材料です。過酷な環境下でも信頼性を維持することができ、半導体、自動車、産業機械などの用途に広く使用されています。.
窒化ケイ素の利点
高温下でも高い強度と剛性
アルミナやジルコニアに比べて優れた耐熱衝撃性
優れた耐摩耗性と耐食性
軽量で高い破壊靭性
熱伝導性の良い電気絶縁
高速・高負荷条件下で卓越した性能を発揮
窒化ケイ素アプリケーション
半導体産業: ウェハーハンドリング部品、ヒーターベース、インシュレーター
航空宇宙・防衛 ベアリング、タービン部品、構造部品
自動車: エンジン部品、ターボチャージャー・ローター、グロー・プラグ
産業機器: 切削工具、ポンプシール、精密ベアリング
医療機器 手術器具と高温部品
材料特性
| 機械的特性 | 単位 | 窒化ケイ素 |
| 密度 | g/cm³ | 3.2 |
| 硬度 | GPa | 15 |
| 曲げ強度 | MPa | 1000 |
| 圧縮強度 | MPa | 3000 |
| 弾性係数 | GPa | 320 |
| 破壊靭性 | MPa-m¹ᐟ | 8 |
| ポアソン比 | - | 0.26 |
| ヤング率 | GPa | 320 |
| 熱特性 | 単位 | 窒化ケイ素 |
| 熱伝導率 | W/m-K | 25 |
| 融点 | °C | 1900 |
| 比熱 | J/g-K | 0.71 |
| 熱膨張係数 | ×10-⁶/K | 3.2 |
| 最高使用温度 | °C | 1400 |
| プロパティ | 単位 | 窒化ケイ素 |
| 誘電率 | 1 MHz | 8 |
| 絶縁耐力 | V/μm | >10 |
| 誘電損失 | 1 MHz | 0.001 |
| 電気抵抗率 | Ω・cm | 10¹⁴ |
窒化ケイ素セラミックス加工
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