窒化アルミニウムウェハーキャリア

窒化アルミニウムウエハキャリアは、半導体装置（成膜、エッチング、熱処理など）の工程でウエハを搬送するためのキャリアです。静電吸着技術によりウェハを固定し、ウェハの反りや変形を防止します。一般的なものは、12インチ300mmのAlN（窒化アルミニウム）ウェハーキャリアサイズとカスタマイズされたAINキャリアです。窒化アルミニウムセラミックは、超高熱伝導性、電気絶縁性、無毒性で環境に優しく、複雑な形状（静電チャック、ヒーター、クランプ、アーム等）への加工も可能です。

AlNウェハーキャリアの主な特長

熱伝導率は170W/m・Kと高く、半導体デバイスの熱を効果的に逃がすことができる。
良好な絶縁性能により、静電気によるデバイスの損傷を防ぐことができる。
耐薬品性に優れ、過酷な環境でも使用可能
寸法安定性が高く、正確な位置決めが可能。
精密加工に適し、複雑な形状にも対応
無害で環境に優しい

窒化アルミニウムの代表的な用途

CVD/PECVDおよびプラズマエッチング装置におけるウェーハハンドリング
パワーデバイス用基板ホルダー
ダイレクト・ウェハー・ボンディング
半導体サーマルパッド
ウェハーキャリア
アームグリッパー

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当社は超硬セラミック材料の専門メーカーであり、窒化アルミニウムセラミック加工において豊富な経験を持っています。シート、ロッド、チューブ、ウェハーキャリア、熱伝導プレート、またはお客様のプロジェクト用のその他のカスタムAINコンポーネントを注文する必要があるかどうかにかかわらず、当社の専門家にご連絡ください。

どのセラミック材料がお客様の用途に適しているかわからない場合当社の専門家にご相談ください。