炭化ケイ素光学ミラー

軽量、低熱膨張、耐熱変形性など。

炭化ケイ素光学用ミラーは、光学用途における急激な温度変化の下でも、その形状と光学精度を維持することができます。また、高い熱伝導率と低いCTEにより、SiCミラーは素早く熱を吸収し、熱応力によるミラーの歪みを軽減することができます。

粗さ Ra0.002um

注：この値は参考値であり、バッチごとに若干異なる場合がある。

天文学と宇宙光学
SiC光学ミラーはCTEと熱安定性が極めて低く、温度変化による変形がほとんどない。代表的な用途としてはハーシェル宇宙望遠鏡これはガラス製ではなく、炭化ケイ素の焼結体である。

高速レーザースキャン・加工システム
高速レーザースキャニングシステムガラスやシリコンミラーに代わるものとして、炭化ケイ素製のミラーを使用する。SiCは密度が低く、比剛性が高いため、低慣性で高速応答のリフレクターを作ることができる。

研究施設
極端紫外線(EUV)リソグラフィ装置(ASML)の多層リフレクタ基板(超平滑表面が必要)としてのSiCは、リソグラフィ中の熱ドリフトを効果的に低減し、オーバーレイ精度を向上させることができる。

Jundroは、技術的な専門知識と高度な設備を活用し、優れたサービスを提供することに特化した高品質の技術セラミック加工メーカーです。5軸精密加工が可能で、異形、丸形、曲面など様々な高精度セラミック部品のカスタマイズ加工を提供しています。

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