Zerodur
0±0.007×10という低い熱膨張係数-6/K
Zerodurガラスセラミックは、超低熱膨張係数を有するため、温度変動下でも優れた寸法安定性を維持し、機械的および熱的特性の変化を最小限に抑えることができます、 軽量加工に適している高精度のアプリケーションでよく使用される
メリット
- 高精度加工に対応。
- 温度変化に対する安定性が高い。
- 高い材料均質性、純度、構造均一性により、一貫した性能を実現。
- 荷重による変形が少ない。
- 酸や塩基を含む化学薬品に対する優れた耐性。
- 優れた真空適合性。
- 広い波長範囲で透明。
- 極めて低い熱膨張係数：0±0.007×10-⁶/K。
- 高い動作温度に耐える。
アプリケーション
- レーザージャイロスコープ用ミラー、ブラケット、コンポーネント
- 放射光X線ミラー
- 干渉計、光学テーブル、測長システム
- 分光計の光学部品
- レーザー干渉計と平面波面センサー
- 重力波検出器
- 人工衛星や天体望遠鏡の光学部品（ハッブル主鏡など）
- 超精密光学部品と大型望遠鏡ミラー基板
- X線望遠鏡用基板
- リングレーザージャイロスコープのアプリケーション
- 宇宙探査機用光学素子（彗星探査機など）
- フラットオプティクスとオプティカルフラット
- 宇宙技術用低膨張レーザー光学系
- 高精度光学測定用ガラス標準
- 機械式レーザー共振器部品
- 光ファイバー部品およびホルダー
- 軽量ハニカムサテライトミラーマウント
- 半導体リソグラフィー部品
- ウェハーステッパーコンポーネント
Zerodurプロパティ
機械的性質
| 物理的性質 | ゼロデュール® | ゼロデュール® K20 |
| 密度 ρ [g/cm³］ | 2.53 | 2.53 |
| ポアソン比 | 0.24 | 0.25 |
| 25°C - 600°C | 112 × 10-⁷/°C | 62 × 10-⁷/°F |
| ヌープ硬度 HK 0.1/20 (ISO9385) | 620 | 620 |
| 屈折率 nd | 1.5424 | -- |
| アッベ数 vd | 56.1 | -- |
| 20℃における熱伝導率λ [W/(m-K) | 1.46 | 1.63 |
| 20℃における熱拡散率 [10-⁶ m²/s］ | 0.72 | -- |
| 20℃における熱容量cp [J/(g-K) | 0.8 | 0.9 |
| 20℃におけるヤング率E [GPa]（平均値） | 90.3 | 84.7 |
| 580nmにおける内部透過率Ti／厚さ5mm | 0.95 | -- |
| 580nmにおける内部透過率Ti／厚さ10mm | 0.9 | -- |
| λ = 589.3 nmにおける応力光学係数K [10-⁶ MPa-¹] [10-⁶ MPa-¹]. | 3 | -- |
| 20℃における電気抵抗率 [Ω-cm］ | 2.6 × 10¹³ | -- |
| Tk100［℃］、ρ＝10⁸の温度［Ω・cm］ | 178 | -- |
化学的性質
| 化学的性質 | ゼロデュール | ゼロデュールK20 |
| 耐汚染性 | クラス0 | - |
| 気候抵抗 | クラス1 | - |
| 耐酸性クラス（ISO 8424） | 1 | - |
| 耐アルカリ性クラス（ISO 10629） | 1 | - |
| 耐加水分解性クラス（ISO 719） | HGB 1 | - |
| 20℃におけるヘリウムの透過率 [Atoms/(cm-s-bar) | 1.6 × 10⁶ | - |
| 100℃におけるヘリウムの透過率 [Atoms/(cm-s-bar) | 5.0 × 10⁷ | - |
| 200℃におけるヘリウムの透過率 [Atoms/(cm-s-bar) | 7.2 × 10⁸ | - |
熱膨張
| 熱膨張 | ゼロデュール |
| CTEグレード | CTE（0℃-50℃）*。 |
| ゼロジュール・エキスパンション・クラス2 | 0 ± 0.100 × 10-⁶/K |
| ZERODUR® エクスパンション クラス1 | 0 ± 0.050 × 10-⁶/K |
| ZERODUR® エクスパンション クラス0 | 0 ± 0.020 × 10-⁶/K |
| ZERODUR® エクスパンション クラス0 スペシャル | 0 ± 0.010 × 10-⁶/K |
| ZERODUR® エクスパンション クラス0 エクストリーム | 0 ± 0.007 × 10-⁶/K |
| ゼロデュール®テーラード | 調整済み ± 0.020 × 10-⁶/K (+0.010 ~ +0.010 × 10-⁶/K ご要望により) |
注：この値は参考値であり、バッチ条件により多少異なる場合がある。
機械加工 Zerodur
Zerodurで作られた精密部品は、通常、ダイヤモンド研削技術を用いて加工され、その後、必要に応じて化学機械的手法による光学研磨が行われる。 Zerodurを加工する際には、適切な切削工具の選択、切削速度のコントロール、材料の損傷を避けるための慎重な熱管理が極めて重要である。 機械加工後は、部品の表面に亀裂や欠けがないことを確認するため、徹底的な検査が欠かせない。 場合によっては、望ましい仕上げと性能基準を達成するために、超精密研磨が必要になることもあります。
ジュンドロ・セラミックス 長年培ってきた精密機械加工の専門技術を生かし、以下のような製品を製造している。 高品質Zerodurコンポーネント Zerodurは、常にお客様の仕様を満たし、またそれを上回る、日常的な機能性と特殊な性能の両方を保証するものです。精密なZerodur機械加工が必要な場合、当社の専門家チームがお客様のニーズに合わせたソリューションでお手伝いいたします。 お問い合わせ お客様の機械加工のニーズにお応えします。
Zerodur 5軸加工
ビデオでは、ZerodurプロトタイプをCNCで加工する工程を紹介しています。
よくある質問
Zerodurは ショットが開発したガラスセラミック材料 極めて低い熱膨張係数（CTE ~0 ± 0.02 × 10-⁶/K）が特徴です。次のような用途に広く使われています。 精密光学、天文学、レーザーシステム、半導体検査装置 その寸法安定性と優れた均質性によるものである。.
一般的な代替案は以下の通り：
ULE®（超低膨張ガラス） - コーニング
クリアセラム®-Z - 大原
溶融シリカ（高純度石英） - CTEは低いが、ゼロに近いわけではない。
シトール／アストロシトール（ロシア） - ゼロ膨張ガラスセラミック
これらの材料は通常、光学ベンチ、ミラー、計測システム、熱安定フレームワークなどに使用される。.
どちらも素晴らしいが
Zerodur オファー より優れた長期寸法安定性, より高い剛性、大型光学部品（望遠鏡のミラーなど）の優れた均質性。.
ユーリー は密度がやや低く、特定の用途に適している。 UV光学アプリケーションと小型精密部品.
ほとんどの超精密光学ミラーと計測システム用、, Zerodurが一般的に好まれる.
最小限。Zerodurのメンテナンス 非常に低い熱膨張, 安定した弾性率を持ち、真空下でもアウトガスが発生しない。極低温条件下では、CTE曲線は他の材料に比べて極めて平坦であり、以下の用途に適している。 宇宙光学、クライオレーザー、真空干渉計システム.
ジュンドロ・セラミックス は、Zerodurガラスセラミックの複数のグレードを供給している：
スタンダードZerodur 光学/構造部品用
Zerodur-極低膨張（CTE選択グレード） 計測用
高均質グレード 光学、レーザーシステム、科学機器用
また、以下のサービスも提供している。 精密研削、研磨、5軸加工 カスタムZerodurコンポーネント用。.
はい。 小さな光学部品や構造部品の試作 というのも、よく削れ、よく磨けるからだ。.
一般的なリードタイム ジュンドロ・セラミックス:
試作部品： 複雑さにより1～3週間
高精度光学部品または大型ブロック： 3～6週間
我々は以下を提供する 材料トレーサビリティ、CTE証明書、完全なQCレポート バッチごとに。.
English 
简体中文 
Español 
Deutsch (Sie) 
日本語