単結晶シリコン

原子配列が整然としており、純度の高いシリコン素材である。

単結晶シリコン は完全な結晶構造を持つシリコン材料である。N型シリコンやP型シリコンにドープすることで、さまざまな用途に対応でき、半導体や光学分野のコア材料となる。

単結晶シリコン加工メーカー

メリット

  • 結晶構造は完全で欠陥がない

  • 高い電子移動度

  • 過酷な環境に適した高温耐性

  • 耐屈曲性と耐摩耗性

  • 用途に応じてNタイプとPタイプに分けられ、純度をコントロールできる。

  • 超精密加工が可能

アプリケーション

  • 半導体チップ
  • 圧力センサー
  • トランジスタとダイオード
  • 太陽電池
  • 光学部品
  • 微小電気機械システム(MEMS)
  • ジャイロスコープ
  • ウェハー・パッケージング

単結晶シリコンの特性

結晶構造格子タイプ-立方晶ダイヤモンド (Fd3̅m)
 格子定数a (Å)5.431
物理的性質密度ρ (g/cm³)2.329
 融点Tₘ (°C)1414
 熱膨張係数α (10-⁶ K-¹)2.6 @ 25-300 °C
機械的特性ヤング率E (GPa)130-188
 ポアソン比ν0.22
 破壊靭性K_IC (MPa-m½)0.6-0.9
熱特性熱伝導率κ (W/m-K)148 @ 300 K
 比熱容量C_p (J/kg-K)700 @ 300 K
電気的特性バンドギャップエネルギーE_g (eV)1.12 @ 300 K
 固有キャリア濃度n_i (cm-³)1 × 10¹⁰ @ 300 K
 比誘電率ε_r11.7
 固有抵抗ρ_i (Ω-cm)~2 × 10⁵
 ドープ抵抗率ρ_d (Ω-cm)0.001-10(ドーピングによる)
キャリア・モビリティ電子移動度μ_n (cm²/V-s)≈1,350 @ 300 K
 穴の可動性μ_p (cm²/V-s)≈450 @ 300 K
光学特性屈折率n (@ 632.8 nm)3.88
 吸収端λ_g (μm)1.1
サーフェス&インターフェイス表面エネルギーγ (J/m²)1.24
 界面状態密度D_it (cm-²-eV-¹)10¹⁰-10¹¹

注:値はすべて室温(≒300 K)における代表値。実際の値は、結晶方位、ドーピングレベル、測定方法によって若干異なる場合があります。

単結晶シリコン加工

単結晶シリコンは、優れた特性を持つ半導体の一般的な材料です。ジュンドロ・セラミックスは、N型シリコン、P型シリコンの精密加工が可能な超硬材料メーカーです。豊富な経験と多様な設備で、お客様のニーズにお応えします。

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よくあるご質問

N型シリコンは、5価の元素(リンやヒ素など)をドープして過剰な電子を導入し、電子をメインキャリアとするもので、P型シリコンは、3価の元素(ホウ素やガリウムなど)をドープしてホールをメインキャリアとするものである。前者は導電性が高く、太陽光発電の高効率セルや一部の半導体デバイスに適しており、後者は構造安定性に優れ、MEMS加工や標準的なチップ基板によく使用される。

単結晶シリコンは、完全かつ連続的な結晶構造と高い電子移動度を持ち、高性能チップや高効率太陽電池に適している;
多結晶シリコンは複数の結晶粒で構成され、粒界がある。電気的特性はやや弱いが、コストが安く、一般的な太陽電池や一次電子部品に多く使われている。

プロセスの適応性:

(100)結晶面:異方性エッチングが容易(MEMSデバイスの微細構造加工など)。

(111)結晶面:原子密度が高く、エピタキシャル成長(GaN薄膜など)に適している。

電気的特性:結晶方位の違いは、キャリア移動度やデバイス性能(MOSFETのチャネル方向設計など)に影響を与える。

業界標準:半導体チップは主に(100)ウェーハを使用し、LEDなどの光電子デバイスは(111)または(110)ウェーハを使用する傾向がある。

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