レーザージャイロ用Zerodur共振器の高精度加工

このプロジェクトには、いくつかの重大な技術的困難があった：

直角度/平行度 (≤ 0.1 μm)

• このキャビティでは、直角度と位置公差が0.1μm以内であることが求められ、卓越した幾何学的精度と高度な計測サポートが要求された。

角度公差 ±5″（秒角）

• 5秒角（～0.0014°）という厳しい角度公差が指定されたが、これは一般的な高精度加工基準を超えている。

表面粗さ Ra ≤ 5 nm

• 光学表面は、5ナノメートルRaの表面仕上げを達成する必要があり、光学的、あるいはサブオプティカルのカテゴリーに入る。

寸法公差 ±0.001 mm

• 外形寸法の公差は±1ミクロン以内という超厳密さが要求された。

素材固有の課題

• Zerodurは硬くて脆いガラスセラミックであるため、機械加工には大きな課題があります。従来の加工では、マイクロクラックやチッピング、表面欠陥が発生しやすい。望ましい結果を得るためには、特殊なダイヤモンド工具とカスタマイズされたプロセスが必要でした。