ボロフロート® 33 ホウケイ酸ガラス
によって開発されたBorofloat® 33ホウケイ酸ガラス ショット は、高精度光学、半導体、高温用途で一般的に使用される高性能材料です。超高度の化学的不活性、CTE係数、超低屈折率を有し、光学、真空、その他の分野の問題を解決する。
ボロフロート33 化学成分
| プロパティ | 価値 / 説明 |
| 化学組成 | SiO₂（81%）、B₂O₃（13%）、Na₂O/K₂O（4%）、Al₂O₃（2%） |
| 密度 | 2.22 g/cm³ |
| モース硬度 | 6.5 |
| 光線透過率 | 92% (波長範囲: 350 nm - 2000 nm) |
| 最高使用温度 | 450°C (短期暴露の場合は600°Cまで) |
熱膨張係数（CTE）
屈折率（異なる波長）
| 波長 (nm) | 587.6（Dライン） | 656.3（Cライン） | 486.1（Fライン） |
| 屈折率 | 1.4734 | 1.4696 | 1.482 |
融点と熱安定性
- 軟化点：820
- アニール点：560
- 耐ヒートショック性：ΔT 160Kまで（厚さ1mm）
ボロフロート33の用途
Borofloat® 33の低屈折率温度係数(dn/dT=1.6×10-⁶/K)は、-40℃から200℃の環境下でビームコリメーションを維持し、高出力レーザーの熱による光学歪みの問題を解決します。半導体や真空アプリケーションでは、Borofloat® 33は、ゼロ気孔率と超高耐薬品性により、エッチング工程でのHF酸蒸気腐食に耐え、通常のガラスの5倍の寿命を持ち、ウェハー汚染のリスクを低減します。
🔹光学機器
🔹レーザー・ウィンドウ
🔹光学フィルター
🔹ウェハーキャリア
🔹真空チャンバー観察窓
🔹プラズマ装置遮蔽板
🔹MEMS圧力センサー基板
🔹高温試験装置
Borofloat® 33 ホウケイ酸ガラスメーカー
弊社はセラミックとガラス材料の高品質メーカーで、難しい材料の加工を専門としています。専門的な技術と先進的な設備で、お客様に優れたサービスを提供しています。光学ガラス材料については、異形、円形、曲面加工など、加工精度0.001、平面精度1/20λまで対応いたします。
お客様のプロジェクトにBorofloat® 33ガラスを選択する必要がある場合は、当社の専門家にご連絡ください。
よくあるご質問
ボロフロート33の平面度規格とは？光学系への影響は？
平坦度の要件ボロフロート33の標準平坦度は≤5μm/m（ISO 10110光学ガラス標準に準拠）であり、高精度加工後は≤1μm/mに達することができる。
- レーザーシステム：表面に凹凸があるとビームが散乱し、エネルギー伝送効率が低下する。
- 半導体リソグラフィ：基板の凹凸は露光パターンの歪みの原因となるため、≤0.5μm/mに制御する必要がある。
- ソリューションフロート加工原反を選択し、精密アニール処理により内部応力変形を低減。
ボロフロート33の軟化温度は？
軟化点：820℃（通常使用温度上限450℃、短期許容差600℃）。
高温での使用制限：
長期使用：450℃を超えると結晶化が促進されるため、結晶化防止コーティング（窒化ケイ素など）の使用を推奨。
熱衝撃のリスク：急冷時の温度差は、クラックを避けるために≤160K（厚さ1mm）でなければなりません。
代表的な用途高温観察窓（炉のサイトグラスなど）は、エッジの応力集中を防ぐため、緩やかな温度構造で設計する必要がある。
ボロフロート33と他のガラス材料との熱膨張係数（CTE）の比較
| 素材 | CTE (20°C-300°C、×10-⁶/K) | 適用シナリオの比較 |
| ボロフロート33 | 3.25 | 精密光学部品/半導体 (CTEマッチング金属) |
| 普通のソーダ石灰ガラス | 8.5-9.0 | 製造／包装（低コスト・低需要シナリオ） |
| 石英ガラス | 0.55 | 極めて高温（ただし高コストで加工が難しい） |
ボロフロート33の光学性能は、紫外から赤外までの用途に対応していますか？
透過率の範囲：
紫外線（UV）：透過率 > 80%（350nmから）。
可視光：92%（波長550nm）。
赤外線（IR）：> 90%（～2000nm）、2500nmで50%に低下。
アプリケーションの適応性：
推奨シーン：レーザー（1064nm）、赤外線センサーウィンドウ、紫外線消毒ランプシェード。
制限されたシナリオ：遠赤外線（> 3μm）用途では、代わりにフッ化カルシウム（CaF₂）またはセレン化亜鉛（ZnSe）を使用することを推奨。
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