フォトリソグラフィー分野におけるZerodurガラスの役割

Zerodur ゼロ膨張ガラスセラミックは、長い間、工業市場において優れた材料として認識されており、その応用分野は確立されています。フォトリソグラフィーの分野では、レチクルブランク基板、リソグラフィーステージベース、ステッパーアライメント・位置決めシステムのミラーやフレームなどの重要な部品に広く使用されています。その熱特性は、特定の温度に合わせてカスタマイズすることができます(Zerodurの物件を見るにはここをクリック)、事実上無視できる熱変形を提供し、最新のリソグラフィ・プロセスの厳しい要件を満たしている。