Zerodur基板

Zerodur基板は、超低熱膨張率で機械的安定性に優れたガラスセラミック材料です。半導体ダイボンディング、光学主鏡、測定器などに使用されています。熱膨張係数(CTE)が0に近い(0-50℃の範囲でCTE≈0±0.05×10-⁶/K)(クリックするとゼロデュールの詳細情報が表示されます。)

Zerodur基板の特徴

極端な温度安定性
(極端な産業環境では)熱膨張や熱収縮による構造の変形や破損を引き起こさない。
例衛星光学システムは、地球低軌道上で-150°Cから+120°Cの温度サイクルを受けるが、Zerodur基板は位置が安定したままである。

優れた寸法安定性
サブミクロンの寸法精度を長期間維持できるため、光学システムや天文機器に特に適している。
事例：欧州の超大型望遠鏡の鏡面基板には、重力や温度変化による変形を抑制できるゼロデュールが使用されている

反環境干渉
腐食性物質や放射線に対する優れた耐性
例核融合実験装置の高エネルギーレーザーを支える光学部品

超高光学特性
ゼロデュール基板は、光透過性に優れ、気泡や不純物が少なく、均一性が高い。
例光路歪みを低減するレーザー干渉計用反射基板

超低CTE係数
様々な熱膨張係数のレベルにより、様々なプロジェクトのニーズを満たすことができる。
例ダイボンディング Zerodur基板、チップ実装に使用

応用分野

天文学および宇宙光学（ジェイムズ・ウェッブ望遠鏡の補助鏡、衛星光学ペイロードなど）

半導体およびマイクロエレクトロニクス製造（リソグラフィーマスクステージ、パッケージング、ダイボンディング基板）

量子・計測（超伝導量子ビット基板、原子時計共振空洞基板）

科学研究機器（レーザー反射基板、測定器ガイド基板） ✅ 科学研究機器（レーザー反射基板、測定器ガイド基板

✅ 原子力産業への応用（プラズマシステム光学窓、火星探査機基板）

Zerodur基板メーカー

Zerodur基板は様々な仕様に対応しており、様々な産業や設備に適しています。また、専門的な加工経験と設備により、お客様のプロジェクトのニーズに応じてゼロデュール材をカスタマイズすることも可能です。

不規則な構造部品：加工精度0.01mm
パイプとロッド円筒度0.001mm、寸法精度0.001mm
平面：構造部品の平坦度精度0.001mmまで、光学製品の平坦度精度1/20λまで
マイクロホール構造：最小直径0.1mm、精度0.01mm
粗さ：Ra0.01umの構造部品、Ra0.002umの光学製品