アルミナセラミックエンドエフェクター/ハンドリングアーム

アルミナセラミックエンドエフェクター/ハンドリングアームは、半導体ウェハーの搬送に使用されます。

アルミナ・セラミックエンドエフェクター／ハンドリングアームは、高純度アルミナ製の精密部品です。超高曲げ強度と高温耐性を備えています。コンタミネーションを効果的に低減し、ウェハーハンドリングプロセスにおいて重要な役割を果たします。

半導体セラミック部品

✅ 高温耐性

良好な電気絶縁性

✅ ✅ 平滑な表面は粒子汚染を低減する

✅ 高い耐食性

✅ 高い機械的強度

EFEMシステムとソーターにおけるウェハーの真空吸着 ✅ EFEMシステムとソーターにおけるウェハーの真空吸着

エッチングおよび化学気相成長（CVD）装置

リソグラフィ工程の前後処理

半導体ウェハーハンドリング (200 mm / 300 mm ウェハー)

レーザー光学部品アセンブリ

どのセラミック材料がお客様の用途に適しているかわからない場合当社の専門家にご相談ください。