現代の精密光学分野では、大型光学望遠鏡のレンズやレーザージャイロスコープの光学部品など、低熱膨張材料の選択が特に重要です。ZerodurやULEガラスは、いずれも熱膨張係数が極めて小さいことで有名です。では、プロジェクトの第一選択としてどちらの材料を使うべきか、どのように選べばよいのでしょうか?本日は、正しい材料をより明確に選択できるよう、多角的に比較してみたいと思います。
素材の背景
熱性能の比較
特徴 | Zerodur | ULEガラス |
熱膨張係数(CTE) | 0 ± 0.02×10-⁶/K (クラス0) | 0.00 ± 0.03×10-⁶/°C |
最高使用温度 | 600°C | 800°C |
熱伝導率 | 1.46 W/(m-K) | 1.31 W/(m-K) |
分析する | ||
ZerodurのCTEは特定の温度で絶対零度に近いが、ULEはCTE範囲が広く、熱安定性に優れている。ULEの高い温度耐性は、半導体リソグラフィー(EUVなど)のような過酷な環境に適しています。 |
機械的および光学的特性
パラメータ | Zerodur | ULEガラス |
密度 | 2.53g/cm³ | 2.21g/cm³ |
光学的均一性 | ±5 × 10-⁷ | ±1 × 10-⁶ |
曲げ強度 | ~40 MPa | ~30 MPa |
分析する | ||
材料密度の点では、ULEはZerodur(13%)よりも軽く、軽量化用途(宇宙用ペイロードなど)に適している。曲げ強度の面では、Zerodurの方が精密加工に対する耐性が高い。 光学的均一性に関しては、Zerodurの光学的均一性はULEよりも著しく優れており、レーザー干渉計のような波面歪みに敏感なアプリケーションに適している。 |
申し込み
Zerodur | ULEガラス |
レーザージャイロスコープ用ミラー、ブラケット、コンポーネント | 天体観測用光学ミラー |
干渉計、光学テーブル、測長システム | リソグラフィ装置用放射ミラー |
分光計の光学部品 | 宇宙望遠鏡の鏡 |
光ファイバー部品およびホルダー | 原子時計共振器 |
宇宙探査機用光学素子(彗星探査機など) | 精密光学プラットフォーム |
大型地上望遠鏡主鏡 | レーザー距離計コンポーネント |
光学ガラス材料メーカー
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