単結晶シリコン
原子配列が整然としており、純度の高いシリコン素材である。
メリット
結晶構造は完全で欠陥がない
高い電子移動度
過酷な環境に適した高温耐性
耐屈曲性と耐摩耗性
用途に応じてNタイプとPタイプに分けられ、純度をコントロールできる。
超精密加工が可能
アプリケーション
- 半導体チップ
- 圧力センサー
- トランジスタとダイオード
- 太陽電池
- 光学部品
- 微小電気機械システム(MEMS)
- ジャイロスコープ
- ウェハー・パッケージング
- 単結晶シリコン・スプレー・プレート
単結晶シリコンの特性
| 結晶構造 | 格子タイプ | - | 立方晶ダイヤモンド (Fd3̅m) |
| 格子定数 | a (Å) | 5.431 | |
| 物理的性質 | 密度 | ρ (g/cm³) | 2.329 |
| 融点 | Tₘ (°C) | 1414 | |
| 熱膨張係数 | α (10-⁶ K-¹) | 2.6 @ 25-300 °C | |
| 機械的特性 | ヤング率 | E (GPa) | 130-188 |
| ポアソン比 | ν | 0.22 | |
| 破壊靭性 | K_IC (MPa-m½) | 0.6-0.9 | |
| 熱特性 | 熱伝導率 | κ (W/m-K) | 148 @ 300 K |
| 比熱容量 | C_p (J/kg-K) | 700 @ 300 K | |
| 電気的特性 | バンドギャップエネルギー | E_g (eV) | 1.12 @ 300 K |
| 固有キャリア濃度 | n_i (cm-³) | 1 × 10¹⁰ @ 300 K | |
| 比誘電率 | ε_r | 11.7 | |
| 固有抵抗 | ρ_i (Ω-cm) | ~2 × 10⁵ | |
| ドープ抵抗率 | ρ_d (Ω-cm) | 0.001-10(ドーピングによる) | |
| キャリア・モビリティ | 電子移動度 | μ_n (cm²/V-s) | ≈1,350 @ 300 K |
| 穴の可動性 | μ_p (cm²/V-s) | ≈450 @ 300 K | |
| 光学特性 | 屈折率 | n (@ 632.8 nm) | 3.88 |
| 吸収端 | λ_g (μm) | 1.1 | |
| サーフェス&インターフェイス | 表面エネルギー | γ (J/m²) | 1.24 |
| 界面状態密度 | D_it (cm-²-eV-¹) | 10¹⁰-10¹¹ |
注:値はすべて室温(≒300 K)における代表値。実際の値は、結晶方位、ドーピングレベル、測定方法によって若干異なる場合があります。
単結晶シリコン加工
単結晶シリコンは、優れた特性を持つ半導体の一般的な材料です。ジュンドロ・セラミックスは、N型シリコン、P型シリコンの精密加工が可能な超硬材料メーカーです。豊富な経験と多様な設備で、お客様のニーズにお応えします。
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よくあるご質問
単結晶シリコンとは?
単結晶シリコンは、均一な結晶構造を持つ高純度材料で、半導体、光学、MEMS用途に広く使用されている。.
加工できるサイズや形状は?
ウェハー、ブロック、リング、プレート、レンズ、ウィンドウ、およびカスタム精密部品を図面に従って加工することができます。.
どのような公差を達成できるか?
典型的な公差は以下の通りである。 ±0.01 mm, また、高精度部品は ±0.001 mm 光学グレードの表面を持つ。.
単結晶シリコンの主な用途は?
一般的な用途としては、半導体デバイス、MEMS部品、光学窓、赤外線部品、精密治具、高安定構造部品などがある。.