低CTEセラミックス を持つ高度なセラミック材料を指す。 低熱膨張係数（CTE）, つまり、温度変化にさらされても寸法変化が少ない。この特性は、熱のミスマッチが応力、ミスアライメント、故障の原因となる高精度、高安定性のアプリケーションにおいて非常に重要である。.
金属やポリマーと比較して、低CTEセラミック材料は優れた特性を提供します。 熱寸法安定性, 航空宇宙産業、半導体産業、光学産業、レーザー産業、精密機器産業で不可欠なものとなっている。.
エンジニアリング用途で低CTEが重要な理由
熱膨張の不一致は、その主な原因のひとつである：
機械的応力と亀裂
光学的ミスアライメント
真空システムのシール不良
精密アセンブリの寿命短縮
低熱膨張セラミックスは、エンジニアがこれらの問題を解決するのに役立ちます：
優れた熱安定性
高い剛性と強度
良好な電気絶縁性
熱衝撃への耐性
金属、ガラス、半導体との適合性
ミクロンまたはサブミクロンレベルの安定性が要求される用途では、材料の選択は主にCTEによって決定されることが多い。.
一般的な低熱膨張セラミック材料の種類
すべてのセラミックスの熱膨張率が低いわけではありません。セラミックスは一般的に金属よりも熱膨張率が低いと考えられていますが、セラミックスによって大きな違いがあります。.
一般的な素材のCTE比較
| 素材 | CTE (×10-⁶ /K) | 熱膨張カテゴリー |
| Zerodur | ~0 ±0.02 | ウルトラ・ロー |
| 石英ガラス | ~0.5 | ウルトラ・ロー |
| 炭化ケイ素（SiC） | ~3.8-4.5 | 非常に低い |
| 窒化アルミニウム（AlN） | ~4.5 | 非常に低い |
| ムライト | ~5.0 | 低い |
| アルミナ（Al₂O₃、99%） | ~7-8 | 中・低 |
| コーディエライト | ~2-3 | 非常に低い |
| ジルコニア (ZrO₂) | ~10-11 | 中程度 |
| マコー | ~9.3 | 中程度 |
低熱膨張セラミックスの代表的な用途
半導体製造装置
ウェハーチャック
アライメントフレーム
断熱ステージ
光学・レーザーシステム
光学マウント
レーザー共振器部品
干渉計構造
航空宇宙・防衛
慣性航法システム
ジャイロスコープ・ハウジング
宇宙光学
真空・超高真空システム
フィードスルー・サポート
セラミック・スペーサー
精密治具
量子科学研究
- イオン・トラップ
- 極低温サポート
- 安定性の高い実験プラットフォーム
結論
低 CTE セラミックスは、現代の高精度工学システムにおいて重要な役割を果たしています。半導体ツールや光学プラットフォームから、航空宇宙や量子研究機器に至るまで、これらの材料は、寸法安定性、信頼性、および熱応力下での長期性能を保証します。.
適切なセラミック材料と適切な加工パートナーを選択することで、システムの精度を大幅に向上させ、故障リスクを低減し、開発サイクルを短縮することができます。.
English 
简体中文 
Español 
Deutsch (Sie) 
日本語