Zerodur ガラス・イン・ウェーハ・ステッパー

ウェハーステッパー は、現代の半導体製造分野における中核機器である。何千万ドルもするこれらの装置は、シリコンウエハー上にナノスケールの回路パターンを投影することができる。その主なワークフローは、光源の発光、マスクのグラフィック・イメージング、対物レンズのフォーカシング、ウェハー・ステージ（X-Yステージ）の精密アライメントとステップ・アンド・リピート移動などである。熱膨張効果という一見弱い物理現象は、リソグラフィの精度を制限する基本的な課題となっています。装置の部品が温度変化によってサイズが変化すると、アライメントエラーやウェハのスクラップにつながります。 Zerodurガラスドイツのショット社が開発した高純度アモルファス・セラミック・ガラスは、熱膨張がゼロに近いという特性から、半導体リソグラフィ・プロセスの中核材料となっている。