Zerodur Cristal en paso de oblea

Steppers para obleas son equipos fundamentales en el campo de la fabricación moderna de semiconductores. Estos instrumentos, valorados en decenas de millones de dólares, pueden proyectar patrones de circuitos a nanoescala sobre obleas de silicio. Sus flujos de trabajo principales incluyen la emisión de la fuente de luz, la imagen gráfica de la máscara, el enfoque de la lente del objetivo y la alineación precisa y el movimiento de paso y repetición de la platina de la oblea (platina X-Y). El aparentemente débil fenómeno físico del efecto de expansión térmica se ha convertido en un reto básico que restringe la precisión de la litografía. Cuando los componentes del equipo cambian de tamaño debido a los cambios de temperatura, se producen errores de alineación y el desguace de las obleas. Vidrio Zerodurun vidrio cerámico amorfo de gran pureza desarrollado por SCHOTT de Alemania, se ha convertido en el material central del proceso litográfico de semiconductores debido a sus características de expansión térmica casi nula.