Nitruro de aluminio El portador de obleas es un soporte utilizado para transportar obleas en los pasos del equipo de semiconductores (como deposición, grabado o tratamiento térmico). Puede fijar la oblea a través de la tecnología de adsorción electrostática para evitar que la oblea se doble y deforme. Los más comunes son el tamaño general del soporte para obleas de AlN (nitruro de aluminio) de 12 pulgadas y 300 mm y el soporte AIN personalizado. La cerámica de nitruro de aluminio tiene una conductividad térmica muy alta, aislamiento eléctrico, no es tóxica y es respetuosa con el medio ambiente, y también se puede procesar en formas complejas (mandril electrostático, calentador, abrazadera, brazo y otros componentes).
Características principales de los soportes de obleas de AlN
- La conductividad térmica alcanza los 170 W/m-K, lo que permite disipar eficazmente el calor de los dispositivos semiconductores.
- Buen rendimiento de aislamiento, que puede evitar daños en los dispositivos causados por la electricidad estática.
- Resistencia química, puede utilizarse en entornos agresivos
- Gran estabilidad dimensional, puede colocarse con precisión
- Adecuado para procesamiento de precisión, admite formas complejas
- No tóxico y respetuoso con el medio ambiente
Aplicaciones típicas del nitruro de aluminio
- Manipulación de obleas en sistemas CVD/PECVD y de grabado por plasma
- Soportes de sustrato para dispositivos de potencia
- Unión directa de obleas
- Almohadillas térmicas para semiconductores
- Soportes para obleas
- Pinzas de brazo
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Somos fabricantes profesionales de materiales cerámicos ultraduros y contamos con una amplia experiencia en el procesamiento de cerámica de nitruro de aluminio. Tanto si necesita pedir chapas, varillas, tubos, soportes para obleas, placas conductoras del calor u otros componentes AIN personalizados para su proyecto, puede ponerse en contacto con nuestros expertos para una consulta gratuita y estaremos encantados de atenderle.
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