Semiconductor SiC Mandril electrostático

Se utiliza para la fijación de obleas durante los procesos de grabado, deposición o CMP

El semiconductor carburo de silicio El mandril electrostático (ESC) es un componente utilizado habitualmente en el grabado, la deposición o la CMP. Utiliza la fuerza de Coulomb o el efecto Johnson-Rabec para fijar firmemente la oblea sin necesidad de abrazaderas mecánicas adicionales. Al mismo tiempo, el ESC fabricado con SiC tiene una durabilidad superalta en entornos de corrosión y plasma.

Caja SiC ESC

Rendimiento

✅ La conductividad térmica ultraalta puede mejorar la precisión del proceso de grabado o deposición.

✅ Gran resistencia a los gases corrosivos

✅ Excelente estabilidad a altas temperaturas, capaz de mantener la estabilidad estructural a altas temperaturas.

✅ Gran dureza y resistencia al desgaste, sin desgaste ni contaminación por partículas durante un uso prolongado.

✅ SiC Electrostatic Chuck tiene una alta resistividad y cumple las características de la adsorción electrostática.

Aplicaciones

✅ Grabado por plasma

✅ Implantación de iones

✅ Deposición química de vapor/deposición física de vapor

✅ Fotolitografía

Qué podemos hacer

Somos fabricantes profesionales de materiales ultraduros y suministramos componentes diversificados y personalizados para la industria de semiconductores, como (mandril de vacío, plataforma de soporte de obleas, efector final, brazo robótico de manipulación de obleas y otros componentes cerámicos). Contamos con equipos profesionales de procesamiento de cinco ejes y una rica experiencia, y podemos procesar componentes de paquetes con superficies heterogéneas, circulares y curvas. Todas las tolerancias pueden mejorarse según el tamaño y la forma reales para adaptarse perfectamente a su equipo y a sus necesidades específicas.

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