Cerámica de alto rendimiento en equipos horizontales de procesamiento de obleas de 300 mm
Entre los equipos actuales de procesamiento por lotes de obleas, tomemos como ejemplo el c.HORICOO300 de centrotherm. Este equipo es utilizado por Renesas Electronics de Japón en su línea de producción de semiconductores de potencia de 300 mm en la prefectura de Yamanashi, principalmente para procesos de oxidación y recocido. El sistema adopta un diseño de clúster de 8 tubos y está equipado con un barco de obleas y obleas totalmente automático.