Los mandriles de cerámica porosa son un tipo de mandril de vacío que utiliza canales interconectados micrométricos/submicrométricos para lograr una adsorción uniforme de la presión negativa. En comparación con los mandriles metálicos tradicionales ranurados o perforados, la cerámica porosa puede proporcionar una adsorción uniforme en toda la superficie sin depresiones localizadas, lo que reduce en gran medida la deformación y la tensión localizada causadas por las obleas finas que son "aspiradas por las ranuras". Esto es especialmente importante para los procesos de precisión, como las obleas ultrafinas.
Ventajas
Adsorción uniforme: Los microporos se distribuyen por toda la superficie para evitar la deformación localizada causada por la adsorción.
Compatibilidad con salas limpias y de bajas partículas: Se utilizan materiales de alta pureza para cumplir los requisitos de partículas e impurezas de los procesos de sala blanca.
Estabilidad química y térmica: Dependiendo de la selección del material (alúmina/SiC), es compatible con procesos de limpieza a alta temperatura, por plasma o químicos.
Tamaño de poro y porosidad personalizables: El tamaño de poro (normalmente 1-120 μm) y la porosidad abierta (por ejemplo, 30-50%) pueden controlarse utilizando porógenos o fases de sacrificio para equilibrar la fuerza de adsorción y el rendimiento de filtración de partículas.
Materiales más utilizados
Óxido de aluminio de gran pureza (Al₂O₃): Puede lograr una excelente planitud de la superficie, es rentable y fácil de procesar, y es adecuado para la mayoría de los escenarios de semiconductores.
Carburo de silicio (SiC/SiSiC): Mayor estabilidad térmica y resistencia mecánica, adecuado para entornos de rectificado y CVD a alta temperatura o con cargas pesadas.
Compuesto cerámico o formulación especial: Se puede utilizar una formulación especial o un tratamiento superficial (revestimiento, sellado) para satisfacer las necesidades de control de partículas, conductividad térmica o conductividad eléctrica.
Especificaciones
| Artículo | Ejemplo Valor / Descripción |
| Material | 99,5% Al₂O₃ / SiC (opcional) |
| Tamaño de poro | 1 μm / 5 μm / 15 μm / 25 μm (personalizable). Comúnmente ≤25 μm para uso óptico / oblea delgada (photomachining.com). |
| Porosidad | 30-50% (ajustable según la aplicación) (xminnovacera.en.made-in-china.com) |
| Planitud (TTV) | 1-10 μm (según el tamaño y el grado de mecanizado) |
| Temperatura máxima de funcionamiento | Al₂O₃ ~1000 °C (dependiendo de la sinterización y la composición), SiC más alto (xminnovacera.en.made-in-china.com) |
| Tamaño/forma común | Circulares de 4″-12″, cuadradas o con formas personalizadas. |
Aplicación
- Ventosas para máquinas trituradoras/retrotrituradoras y cortadoras de obleas.
- Fijación sin arañazos en el procesamiento y pulido de lentes ópticas.
- Estaciones de sondeo/plataformas de inspección (adsorción uniforme, fijación de muestras minúsculas).
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