En la fabricación de semiconductores, la precisión, la pureza y la durabilidad lo son todo. Entre los muchos materiales avanzados que sustentan esta industria, vidrio de cuarzo fundido (sílice fundida) destaca por su combinación única de gran pureza, transparencia óptica, estabilidad térmica y resistencia al plasma. Estas propiedades lo hacen indispensable en casi todas las etapas del procesamiento de obleas.
Hagamos un rápido recorrido por los lugares en los que el vidrio de cuarzo cumple silenciosamente su función dentro de los equipos semiconductores
Litografía y escritura directa
Ventanas de exposición
Soportes para lentes de proyección
Placas ópticas y mirillas
Portamáscaras de cuarzo
Revestimiento y revelado de fotorresistencias
Cubiertas de cuarzo
Ventanas de curado UV
Mirillas ópticas
Equipos de proceso húmedo
- Cisternas y bañeras de cuarzo
- Portadores y botes de obleas
- Tubos de protección del calentador
- Tanques de rebose y aclarado
Equipos de grabado en seco
- Revestimientos de cámaras de cuarzo
- Ventanas de plasma
- Duchas y placas dieléctricas
- Cubiertas de electrodos
Sistemas de procesamiento térmico
Tubos de proceso de cuarzo
Barcos y soportes para obleas
Escudos y soportes térmicos
Deposición de películas finas (CVD, PECVD, ALD)
- Camisas de cámara
- Viewports
- Placas deflectoras y escudos
Herramientas CMP (pulido químico-mecánico)
Células de limpieza de cuarzo
Ventanas de inspección óptica
Equipos de pegado de obleas
- Etapas del calentador de cuarzo
- Ventanas de la cámara de vacío
Sistemas de implantación de iones
Escudos de cuarzo
Ventanas de inspección óptica
Conclusión
Desde la óptica litográfica hasta los hornos térmicos y las cámaras de plasma, el vidrio de cuarzo fundido es uno de los facilitadores silenciosos de la precisión y pureza de los semiconductores. Su fiabilidad en entornos extremos lo convierte en un material fundamental para los fabricantes de equipos que se esfuerzan por obtener mayores rendimientos y procesos más limpios. (Pulse aquí para obtener información detallada sobre las propiedades del vidrio de cuarzo fundido.)
Acerca de nosotros - Fabricante de componentes de cuarzo fundido
En Cerámica Jundro Estamos especializados en el mecanizado de precisión de componentes de vidrio de cuarzo fundido para aplicaciones de semiconductores, óptica y vacío.
Con años de experiencia en el procesamiento de materiales de gran pureza, ofrecemos piezas de cuarzo a medida todos ellos fabricados para satisfacer las exigencias extremas de los equipos semiconductores.
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