Zerodur La vitrocerámica de expansión cero está reconocida desde hace tiempo como un material excepcional en el mercado industrial, con áreas de aplicación bien establecidas. En el campo de la fotolitografía, se utiliza ampliamente en componentes críticos como los sustratos para retículas, las bases de las platinas litográficas y los espejos y marcos de los sistemas de alineación y posicionamiento por pasos. Sus propiedades térmicas pueden adaptarse a temperaturas específicas (pulse aquí para ver las propiedades Zerodur), que ofrece una deformación térmica prácticamente insignificante, lo que cumple los estrictos requisitos de los modernos procesos litográficos.
Ventajas del material
- Coeficiente de dilatación térmica ultrabajo (0±0,02 × 10-⁶ K-¹)
- Estabilidad dimensional extremadamente alta, capaz de mantener la consistencia durante mucho tiempo en el nivel de 1 nm.
- Puede procesarse y pulirse con gran precisión, alcanzando una exactitud de planitud de 1/20λ
- Excelentes propiedades químicas, gran tolerancia a los productos químicos habituales de grabado y limpieza
Aplicación de la microlitografía
- Retículo Sustrato en blanco
- Sustrato de máquina litográfica EUV
- Marco de soporte Zerodur
- Espejo interferométrico, espejo plano, prisma doble, etc.
- Componentes del sistema de alineación
Resuma
El Zerodur se ha convertido en un material clave en el campo de la microlitografía debido a su CTE ultrabajo y a su gran estabilidad dimensional. Jundro Ceramics es un fabricante de alta calidad especializado en el procesamiento de Zerodur. Cuenta con una gran experiencia en el mecanizado de sustratos, reflectores, espejos de medición, etc. y puede satisfacer perfectamente sus necesidades. No dude en ponerse en contacto con nuestros expertos. Estaremos encantados de prestarle nuestros servicios.
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