Cerámica de alto rendimiento en equipos horizontales de procesamiento de obleas de 300 mm

Entre los equipos actuales de procesamiento por lotes de obleas, destaca el c. de centrotherm.HORICOO300 como ejemplo. Este equipo lo utiliza Renesas Electronics de Japón en su línea de producción de semiconductores de potencia de 300 mm de la prefectura de Yamanashi, principalmente para los procesos de oxidación y recocido. El sistema adopta un diseño de clúster de 8 tubos y está equipado con un sistema de transferencia de barquillos y obleas totalmente automático, que mejora la capacidad de producción y el rendimiento y reduce el coste total de propiedad hasta 50%. Sin embargo, la contaminación por micropartículas o un campo térmico desigual pueden provocar una disminución de la tasa de rendimiento. Por ello, los requisitos de los componentes de los equipos de procesamiento de obleas de φ200/300 mm son muy estrictos. Los materiales metálicos tradicionales son difíciles de cumplir los requisitos, y los materiales cerámicos de alto rendimiento pueden resolver perfectamente este problema. Normalmente, los materiales cerámicos (como óxido de aluminio y nitruro de aluminio) tienen las características de resistencia a altas temperaturas, alto aislamiento y baja contaminación, lo que puede mejorar en gran medida la estabilidad del equipo.