Efector final / brazo de manipulación de cerámica de alúmina

El efector final / brazo de manipulación de cerámica de alúmina se utiliza para transportar obleas semiconductoras

Cerámica de alúmina El efector final / brazo de manipulación es un componente de precisión fabricado con alúmina de gran pureza. Tiene una gran resistencia a la flexión y a las altas temperaturas. Puede reducir eficazmente la contaminación y desempeña un papel clave en el proceso de manipulación de obleas.

Piezas cerámicas semiconductoras

Ficha técnica

Material	99,8% Alúmina
Densidad	3,93（g/cm³）
Dureza Vickers	18GPa
Resistencia a la flexión	314MPa
Resistencia a la compresión	2556（GPa）
Módulo de Young	358（Gpa）
Conductividad térmica	34-39W/m-K
Temperatura máxima de funcionamiento	1765°C
Constante dieléctrica	9,85（1 MHz）

Ventajas

✅ Resistente a altas temperaturas

✅ Buen aislamiento eléctrico

✅ La superficie lisa reduce la contaminación por partículas

Alta resistencia a la corrosión

Alta resistencia mecánica

Aplicación

✅ Adsorción al vacío de obleas en sistemas EFEM y clasificadores

✅ Equipos de grabado y deposición química de vapor (CVD)

✅ Manipulación de procesos previos y posteriores a la litografía

✅ Manipulación de obleas de semiconductores (obleas de 200 mm / 300 mm)

✅ Conjunto óptico láser

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