Zerodur-Substrat

Zerodur-Substrat ist ein glaskeramisches Material mit extrem niedrigem Wärmeausdehnungskoeffizienten und ausgezeichneter mechanischer Stabilität. Es wird für das Bonden von Halbleiterchips, optische Primärspiegel, Messinstrumente usw. verwendet. Sein Hauptmerkmal ist ein Wärmeausdehnungskoeffizient (WAK) nahe Null (WAK≈0±0,05×10-⁶/K im Bereich von 0-50°C) (Klicken Sie hier, um detaillierte Informationen über Zerodur zu erhalten)

Zerodur-Substrat-Bearbeitung

Zerodur-Substrat Merkmale

Extreme Temperaturstabilität
(in extremen industriellen Umgebungen) keine thermische Ausdehnung und Kontraktion verursachen, die zu strukturellen Verformungen und Versagen führen
Beispiel: Optische Satellitensysteme durchlaufen in der niedrigen Erdumlaufbahn Temperaturzyklen von -150°C bis +120°C, und das Zerodur-Substrat bleibt in seiner Position stabil

Ausgezeichnete Dimensionsstabilität
Kann die Präzision der Abmessungen im Submikrometerbereich über einen langen Zeitraum beibehalten, was besonders für optische Systeme und astronomische Geräte geeignet ist
Fall: Europas extrem großes Teleskopspiegelträgermaterial verwendet Zerodur, das die Verformung durch Schwerkraft und Temperaturschwankungen kontrollieren kann

Anti-Umwelt-Eingriffe
Gute Beständigkeit gegen korrosive Stoffe und Strahlung
Beispiel: Optische Komponenten, die zur Unterstützung von Hochenergielasern in Versuchsanlagen für die Kernfusion verwendet werden

Ultrahohe optische Eigenschaften
zerodur Substrate haben eine ausgezeichnete Lichtdurchlässigkeit, wenig Blasen und Verunreinigungen und eine hohe Gleichmäßigkeit
Beispiel: Reflektorsubstrat für Laserinterferometer zur Verringerung der Verzerrung des optischen Weges

Ultra-niedriger CTE-Koeffizient
Mit einer Vielzahl von unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten kann es den Anforderungen verschiedener Projekte gerecht werden.
Beispiel: Die Verklebung Zerodur-Substrat, verwendet für die Chipmontage

Anwendungsbereiche

Astronomie und Weltraumoptik (z. B. Hilfsspiegel für das James-Webb-Teleskop, optische Nutzlasten für Satelliten)

✅ Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung (Lithografie, Maskenherstellung, Packaging, Kleben von Substraten)

Quanten und Messung (supraleitendes Quantenbit-Substrat, Atomuhr-Resonanzhohlraum-Substrat)

✅ Wissenschaftliche Forschungsausrüstung (Laser-Reflektor-Substrat, Führungssubstrat für Messgeräte)

✅ Anwendungen in der Nuklearindustrie (optisches Fenster von Plasmasystemen, Substrat für Marsrover)

Zerodur-Substrat Hersteller

Wir bieten eine Vielzahl von Spezifikationen für Zerodur-Substrate an, die für verschiedene Branchen und Geräte geeignet sind. Mit unserer professionellen Bearbeitungserfahrung und Ausrüstung können wir auch Zerodur-Materialien entsprechend Ihren Projektanforderungen anpassen.

Unregelmäßige Strukturteile: Bearbeitungsgenauigkeit von 0,01 mm
Rohre und Stäbe: Zylindrizität von 0,001 mm, Maßhaltigkeit von 0,001 mm
Flache Oberflächen: Ebenheitsgenauigkeit von Strukturteilen bis zu 0,001 mm, optische Produkte mit einer Ebenheitsgenauigkeit von bis zu 1/20λ
Mikroloch-Strukturen: Mindestdurchmesser von 0,1 mm, Genauigkeit von 0,01 mm
Rauhigkeit: Strukturelle Teile mit Ra0.01um, optische Produkte mit Ra0.002um