Siliciumnitrid ist als eine der härtesten Substanzen der Welt bekannt. Es ist berühmt für seine hervorragende mechanische Festigkeit, thermische Stabilität und geringe Dichte. Es handelt sich um ein anorganisches keramisches Material, das beim Sintern nicht schrumpft. Es kann auch in extremen Umgebungen zuverlässig arbeiten und wird häufig in Anwendungen wie Halbleitern, Automobilen und Industriemaschinen eingesetzt.
Vorteile von Siliziumnitrid
Hohe Festigkeit und Steifigkeit auch bei erhöhten Temperaturen
Überlegene Temperaturwechselbeständigkeit im Vergleich zu Aluminiumoxid und Zirkoniumdioxid
Ausgezeichnete Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit
Geringes Gewicht bei hoher Bruchzähigkeit
Elektrische Isolierung mit guter Wärmeleitfähigkeit
Hervorragende Leistung unter Hochgeschwindigkeits- und Hochlastbedingungen
Siliziumnitrid Anwendung
Halbleiterindustrie: Wafer-Handling-Komponenten, Heizsockel, Isolatoren
Luft- und Raumfahrt & Verteidigung: Lager, Turbinenkomponenten, Strukturteile
Automobilindustrie: Motorkomponenten, Turbolader-Rotoren, Glühkerzen
Industrielle Ausrüstung: Schneidwerkzeuge, Pumpendichtungen, Präzisionslager
Medizinische Geräte: Chirurgische Werkzeuge und Hochtemperaturkomponenten
Materialeigenschaften
| Mechanische Eigenschaften | Einheit | Siliziumnitrid |
| Dichte | g/cm³ | 3.2 |
| Härte | GPa | 15 |
| Biegefestigkeit | MPa | 1000 |
| Druckfestigkeit | MPa | 3000 |
| Elastischer Modul | GPa | 320 |
| Bruchzähigkeit | MPa-m¹ᐟ² | 8 |
| Querkontraktionszahl | - | 0.26 |
| Elastizitätsmodul | GPa | 320 |
| Thermische Eigenschaften | Einheit | Siliziumnitrid |
| Wärmeleitfähigkeit | W/m-K | 25 |
| Schmelzpunkt | °C | 1900 |
| Spezifische Wärme | J/g-K | 0.71 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | ×10-⁶/K | 3.2 |
| Maximale Betriebstemperatur | °C | 1400 |
| Eigentum | Einheit | Siliziumnitrid |
| Dielektrizitätskonstante | 1 MHz | 8 |
| Dielektrische Festigkeit | V/μm | >10 |
| Dielektrischer Verlust | 1 MHz | 0.001 |
| Elektrischer spezifischer Widerstand | Ω-cm | 10¹⁴ |
Siliziumnitrid-Keramik-Bearbeitung
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