SIC-Keramik-Futter

Hohe Härte, hohe Wärmeleitfähigkeit, niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

Siliziumkarbid-Keramik-Chucks werden in der Regel für die Vakuum-Adsorption, die elektrostatische Adsorption oder das mechanische Einspannen von Wafern verwendet.

Produkt	SlC-Keramik-Futter
Material	Siliziumkarbid
Größe	Φ310*20

SIC Ceramic Vorteile

✅ Extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient

✅ Hohe Wärmeleitfähigkeit von 120-200 W/m-K

Mohs-Härte von 9,2, zweithöchste Härte nach Diamant und kubischem Bornitrid

✅ Ausgezeichnete chemische Stabilität, geeignet für Reinräume und Vakuumkammern

✅ Die Oberfläche kann durch hochpräzises Schleifen und Polieren bearbeitet werden

Anwendungen

Bearbeitung von Halbleiterwafern (z. B. CVD, Ätzen, CMP)

✅ Verarbeitung und Prüfung von optischem Glas

✅ Plattform für die Mikrobearbeitung

✅ Laser-Bearbeitungsplattform

✅ Ultrapräzisionsbearbeitungs- und Messsysteme

Anpassbare Bearbeitungsdienstleistungen

Hochleistungs-SiC-Keramik-Futter stellen extrem hohe Anforderungen an die Materialkontrolle und Präzisionsbearbeitung der Hersteller. Unser Unternehmen ist stolz darauf:

5-Achsen-CNC-Maschinen und Ultrapräzisionspoliermaschinen

Die Genauigkeit der Oberflächengüte erreicht Ra 0,005 μm, mit einer Ebenheit von < 1 μm

Wir bieten eine Lösung aus einer Hand, von der Konstruktion über die Endbearbeitung bis hin zur Oberflächenpolitur.

Egal, ob es sich um maßgefertigte Vorrichtungen oder andere Teile handelt, wir bieten stabile und zuverlässige SiC-Keramik-Bearbeitungsdienstleistungen.

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