Poröse Halbleiterkeramik-Vakuumspannplatte
Poröse keramische Spannvorrichtungen sind eine Art von Vakuumspannvorrichtungen, die miteinander verbundene Kanäle im Mikrometer-/Submikrometerbereich verwenden, um eine gleichmäßige Unterdruckadsorption zu erreichen. Im Vergleich zu herkömmlichen gerillten oder perforierten Metallchucks können poröse Keramiken eine gleichmäßige Adsorption über die gesamte Oberfläche ohne örtliche Vertiefungen bieten, wodurch die Verformung und örtliche Beanspruchung, die durch das "Einsaugen" dünner Wafer/Wafer verursacht wird, erheblich reduziert wird.