Halbleiter-Keramikteile - Präzisionskomponenten für die Halbleiterfertigung

Ehrlich gesagt, haben wir in den fünf Jahren, in denen wir auf dem Gebiet der technischen Keramik arbeiten, mehr als 60% unserer Produkte dienen der Halbleiterindustrie. Die am häufigsten gelieferten Materialien sind zweifelsohne Tonerde, Aluminiumnitrid, Siliziumkarbid, Zerodur und Quarzglas. Diese Werkstoffe werden häufig in kritischen Phasen der Halbleiterherstellung verwendet, z. B. für Waferträger, Heizplattformen, Vakuumkammern, Präzisionspositionierungskomponenten sowie Struktur- und Isolierteile für Umgebungen mit hohen Temperaturen und hohem Reinheitsgrad.

Wichtige Spezifikationen unserer Halbleiter-Keramikteile

Materialien: Al₂O₃, AlN, SiC, Zerodur、Schmelzquarz
Maßtoleranz: ±0,001 mm für kritische Oberflächen
Oberflächengüte: Ra 0,01-0,002 µm je nach Anwendung
Wärmeleitfähigkeit: Werkstoffspezifisch, z. B. AlN bis zu 180 W/m-K
Dielektrische Eigenschaften: Verlustarme Keramiken für RF- und Hochfrequenzanwendungen
Vakuum und chemische Beständigkeit: Getestet für UHV < 1×10-⁹ mbar und aggressive Chemikalien

Herstellung und Qualitätskontrolle

✅ CNC-Bearbeitung: 3/4/5-Achsen-Fräsen, Polieren, Mikrobohren

✅ Inspektion: CMM, Interferometrie, Rundheitsprüfung

✅ Zertifizierungen: ISO 9001/ISO 14001 /ISO 13485/SGS Zertifizierung von Materialien

Fall

Keramische Halbleiterträger aus Aluminiumnitrid werden hauptsächlich für den Transport von Wafern verwendet. Indem sie die hohe Wärmeleitfähigkeit und die hervorragende elektrische Isolierung von Aluminiumnitrid voll ausnutzen, reduzieren sie wirksam die thermische Belastung und verhindern elektrostatische Schäden, wodurch ein sicherer und unbeschädigter Transport und eine sichere Verarbeitung der Wafer gewährleistet werden.

Vollständige Fallstudie lesen: /https://jundro.io/aluminum-nitride-wafer-carrier/

Warum sollten Sie unsere Halbleiter-Keramikteile wählen?

Bei Jundro haben wir umfangreiche Erfahrungen mit den strengen Anforderungen der Halbleiterfertigung an hochpräzise, hochstabile Keramikteile gesammelt. Unser Fachwissen erstreckt sich auf Hochtemperaturbeständigkeit, überlegene Isolationsleistung und präzise Mikrostrukturherstellung. Durch den Einsatz fortschrittlicher Verarbeitungsanlagen und ausgereifter Technologien liefert Jundro zuverlässige, kundenspezifische Keramiklösungen, die den effizienten Betrieb der Halbleiterlieferkette unterstützen.