In 3 Minuten: Die vollständigen Anwendungen von Quarzglas in Halbleiteranlagen

Bei der Herstellung von Halbleitern kommt es auf Präzision, Reinheit und Haltbarkeit an. Zu den vielen fortschrittlichen Materialien, die diese Industrie unterstützen, gehören, geschmolzenes Quarzglas (Quarzglas) zeichnet sich durch seine einzigartige Kombination aus hohe Reinheit, optische Transparenz, thermische Stabilität und Plasmabeständigkeit. Diese Eigenschaften machen es in nahezu jeder Phase der Waferverarbeitung unverzichtbar.

Machen wir einen kurzen Rundgang durch die Bereiche, in denen Quarzglas im Inneren von Halbleiteranlagen seine Arbeit verrichtet

Lithographie und Direktschreiben

Belichtungsfenster
Halterungen für Projektionslinsen
Optische Platten und Sichtfenster
Quarzmaskenhalter

Fotolack-Beschichtung und -Entwicklung

Quarzbeschichtung deckt ab
UV-härtende Fenster
Optische Sichtfenster

Nassprozess-Ausrüstung

Quarzbecken und -bäder
Waferträger und Boote
Heizungsschutzrohre
Überlauf- und Klarspülbehälter

Ausrüstung für Trockenätzung

Quarzkammerauskleidungen
Plasma-Ansichtsfenster
Duschköpfe und dielektrische Platten
Elektrodenabdeckungen

Thermische Verarbeitungssysteme

Prozessrohre aus Quarz
Waferschiffchen und -halter
Thermische Abschirmungen und Halterungen

Dünnschichtabscheidung (CVD, PECVD, ALD)

Einsätze für Kammern
Ansichtsfenster
Prallplatten und Abschirmungen

CMP-Werkzeuge (chemisch-mechanisches Polieren)

Quarz-Reinigungszellen
Optische Inspektionsfenster

Wafer-Bonding-Ausrüstung

Quarz-Heizstufen
Vakuumkammer-Fenster

Ionenimplantationssysteme

Quarzschilde
Optische Inspektionsfenster

Schlussfolgerung

Von Lithografieoptiken bis hin zu Wärmeöfen und Plasmakammern ist geschmolzenes Quarzglas einer der stillen Garanten für Präzision und Reinheit in der Halbleiterindustrie. Seine Zuverlässigkeit in extremen Umgebungen macht es zu einem Kernmaterial für Gerätehersteller, die nach höheren Erträgen und saubereren Prozessen streben. (Klicken Sie hier für detaillierte Informationen über die Eigenschaften von Quarzglas.)

Über uns - Hersteller von Quarzglas-Komponenten

Unter Jundro Keramiken Wir sind auf die Präzisionsbearbeitung von Komponenten aus Quarzglas für Halbleiter-, Optik- und Vakuumanwendungen spezialisiert.
Mit jahrelanger Erfahrung in der Verarbeitung hochreiner Materialien liefern wir kundenspezifische Quarzteile alle hergestellt, um den extremen Anforderungen von Halbleiteranlagen gerecht zu werden.