Zerodur Null-Ausdehnungs-Glaskeramik ist auf dem Industriemarkt seit langem als hervorragendes Material mit gut etablierten Anwendungsbereichen anerkannt. Im Bereich der Fotolithografie wird es häufig für kritische Komponenten wie Substrate für Reticle-Rohlinge, Lithografietische sowie Spiegel und Rahmen in Stepper-Ausrichtungs- und Positionierungssystemen verwendet. Seine thermischen Eigenschaften können für bestimmte Temperaturen angepasst werden (Klicken Sie hier, um Zerodur-Eigenschaften anzuzeigen), die eine praktisch vernachlässigbare thermische Verformung aufweist, was den strengen Anforderungen moderner Lithografieverfahren entspricht.
Material Vorteile
- Extrem niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient (0±0,02 × 10-⁶ K-¹)
- Extrem hohe Dimensionsstabilität, die über einen langen Zeitraum auf 1nm-Ebene beibehalten werden kann
- Kann mit hoher Präzision bearbeitet und poliert werden und erreicht eine Ebenheitsgenauigkeit von 1/20λ
- Ausgezeichnete chemische Eigenschaften, hohe Toleranz gegenüber gängigen Ätz- und Reinigungschemikalien
Mikrolithographie Anwendung
- Absehen Leeres Substrat
- Substrat der EUV-Lithografiemaschine
- Zerodur-Stützrahmen
- Interferometerspiegel, Planspiegel, Doppelprisma, usw.
- Komponenten des Ausrichtungssystems
Zusammenfassend
Zerodur hat sich aufgrund seines extrem niedrigen WAK und seiner hohen Dimensionsstabilität zu einem Schlüsselmaterial im Bereich der Mikrolithografie entwickelt. Jundro Ceramics ist ein hochwertiger Hersteller, der sich auf die Verarbeitung von Zerodur spezialisiert hat. Das Unternehmen verfügt über reiche Erfahrung in der Bearbeitung von Substraten, Reflektoren, Messspiegeln usw. und kann Ihre Anforderungen perfekt erfüllen. Wenden Sie sich bitte an unsere Experten. Wir bieten Ihnen gerne unsere Dienstleistungen an.
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