Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor / Handhabungsarm

Der Aluminiumoxid-Keramik-Endeffektor/Handhabungsarm wird für den Transport von Halbleiterwafern verwendet.

Tonerde-Keramik Der Endeffektor/Handhabungsarm ist ein Präzisionsbauteil aus hochreinem Aluminiumoxid. Es hat eine extrem hohe Biegefestigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit. Er kann Verunreinigungen wirksam reduzieren und spielt eine Schlüsselrolle im Wafer-Handling-Prozess.

Halbleiter-Keramikteile

Datenblatt

Material	99.8% Tonerde
Dichte	3,93（g/cm³）
Vickers-Härte	18GPa
Biegefestigkeit	314MPa
Druckfestigkeit	2556（GPa）
Elastizitätsmodul	358（Gpa）
Wärmeleitfähigkeit	34-39 W/m-K
Maximale Betriebstemperatur	1765°C
Dielektrizitätskonstante	9,85（1 MHz）

Vorteile

✅ Hochtemperaturbeständig

✅ Gute elektrische Isolierung

✅ Glatte Oberfläche verringert die Verunreinigung durch Partikel

✅ Hohe Korrosionsbeständigkeit

✅ Hohe mechanische Festigkeit

Anmeldung

✅ Vakuumadsorption von Wafern in EFEM-Systemen und Sortieranlagen

Anlagen zum Ätzen und zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)

✅ Handhabung des prä-/postlithografischen Prozesses

✅ Handhabung von Halbleiterwafern (200 mm / 300 mm Wafer)

✅ Montage von Laseroptiken

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